D07-7K氣體質(zhì)量流量控制器,D07系列模擬質(zhì)量流量控制器
D07-7K氣體質(zhì)量流量控制器,D07系列模擬質(zhì)量流量控制器簡(jiǎn)介:
質(zhì)量流量控制器(MFC)用于對(duì)氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密地測(cè)量和控制。廣泛用于電子工藝設(shè)備、真空鍍膜、石油化工、冶金、制藥、光纖熔煉、分析測(cè)量?jī)x器、制氣配氣等行業(yè)。
,D07系列模擬質(zhì)量流量控制器技術(shù)參數(shù):
產(chǎn)品型號(hào) | D07-7K |
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產(chǎn)品類型 | 普通型 |
流量量程 | 20sccm,30sccm,50sccm,100sccm,200sccm,300sccm,500sccm,1slm,2slm,3slm,5slm,10slm |
產(chǎn)品精度 | ±1%F.S. |
重復(fù)精度 | ±0.2% FS |
線性 | ±1%F.S. |
響應(yīng)時(shí)間 | ≤4sec |
工作溫度范圍 | (5~45)°C |
耐壓 | 3MPa |
密封材料 | 氟橡膠Viton,氯丁橡膠(耐氨橡膠) Neoprene |
輸入輸出信號(hào) | (0~5)VDC |
電源 | ±15V |
閥類型 | 常閉 |
溫度系數(shù) | - 無 - |
零點(diǎn)飄移指標(biāo) | - 無 - |
電氣連接 | D sub 15 pins Female |
工作壓差范圍 | (0.1~0.5) MPa |
漏率 | 1×10-8atm•cc / sec He(1×10-9 Pa•m3 / sec He) |
標(biāo)準(zhǔn)接頭形式 | 雙卡套Φ8,雙卡套Φ6,雙卡套Φ3,雙卡套1/8”,φ4(內(nèi))×1軟管接頭,VCR1/4”,雙卡套1/4”,φ6(內(nèi))×1軟管接頭 |
表面化學(xué)成分 | - 無 - |
表面粗糙度 | - 無 - |
抗電磁干擾 | - 無 - |
重量 | 1.1Kg |