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超高分辨場發(fā)射掃描電子顯微鏡 Regulus系列

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  • 公司名稱上海西努光學(xué)科技有限公司
  • 品       牌
  • 型       號
  • 所  在  地上海
  • 廠商性質(zhì)其他
  • 更新時(shí)間2023/10/24 10:50:30
  • 訪問次數(shù)135
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上海西努光學(xué)科技有限公司,以下簡稱西努光學(xué)。西努光學(xué)成立于2003年,始終致力于“以光學(xué)為核心,為用戶提供檢測解決方案”為方針,推動智能檢測裝備的轉(zhuǎn)型升級,將顯微光學(xué)成像以及圖像算法應(yīng)用于檢測技術(shù)的科技創(chuàng)新公司。 公司專注服務(wù)于工業(yè)領(lǐng)域客戶,通過顯微光學(xué)成像、圖像算法及實(shí)驗(yàn)方案應(yīng)用技術(shù)和產(chǎn)品幫助工業(yè)企業(yè)實(shí)現(xiàn)數(shù)字化、智能化檢測發(fā)展。公司主要為用戶提供檢測技術(shù)方案及檢測裝備。產(chǎn)品功能涵蓋尺寸及缺陷檢測、智能制造、實(shí)驗(yàn)室理化解決方案等工業(yè)領(lǐng)域多個環(huán)節(jié)。 經(jīng)過十余年的深耕與積累,公司累計(jì)服務(wù)2000多家客戶,積累了大量的行業(yè)經(jīng)驗(yàn),并確保了前沿的顯微光學(xué)與檢測實(shí)際場景的深度融合。公司主要客戶群體涵蓋了微電子行業(yè)、汽車零件行業(yè)、智能裝備等工業(yè)領(lǐng)域。 西努光學(xué)以科技創(chuàng)新為公司發(fā)展的原動力,以顯微光學(xué)成像、圖像算法為核心技術(shù),緊密圍繞企業(yè)的檢測需求,通過持續(xù)科技創(chuàng)新,為用戶提供*的工業(yè)檢測設(shè)備及應(yīng)用方案。西努光學(xué) 誠信為您服務(wù) 專業(yè)為您服務(wù)基本價(jià)值觀:1、西努光學(xué)秉持“以光學(xué)為核心,為客戶提供解決方案”的經(jīng)營方針,致力于光學(xué)檢測與應(yīng)用水平的提升。2、西努光學(xué)以誠信、專業(yè)、服務(wù)為基本價(jià)值觀和追求,以實(shí)現(xiàn)客戶-西努、供應(yīng)商-西努光學(xué)、合作伙伴-西努、員工-西努雙贏為目標(biāo)。3、西努光學(xué)認(rèn)為員工是西努寶貴的財(cái)富,是構(gòu)成西努價(jià)值和競爭力的核心;西努光學(xué)將根據(jù)自身?xiàng)l件不遺余力地為員工職業(yè)發(fā)展、事業(yè)發(fā)展和家庭幸福做出*大努力。4、公平、公正、坦誠是西努人事制度的價(jià)值基礎(chǔ);友愛互助、團(tuán)隊(duì)協(xié)作是西努特別重視的品質(zhì);勤勉、敬業(yè)、精益求精是西努特別強(qiáng)調(diào)的職業(yè)精神。5、誠信守約是西努基本行為準(zhǔn)則。西努堅(jiān)決反對和抵制一切欺詐、不守信諾的行為;無論這種行為基于何種理由。6、可持續(xù)發(fā)展、效益穩(wěn)定增長、效率穩(wěn)步提升是西努戰(zhàn)略制定的基本準(zhǔn)則和依據(jù)。7、技術(shù)和服務(wù)是西努能夠成為光學(xué)解決方案提供商的關(guān)鍵,西努光學(xué)確保技術(shù)提升、客戶滿意度提升方面的投入能夠隨利潤的增長而增長。
超高分辨場發(fā)射掃描電子顯微鏡Regulus系列"Regulus系列"繼承了現(xiàn)有機(jī)型的觀察和分析性能,配備SU8200系列的低噪音冷場發(fā)射電子槍*1,可以獲得高穩(wěn)定的束流
超高分辨場發(fā)射掃描電子顯微鏡 Regulus系列 產(chǎn)品信息

超高分辨場發(fā)射掃描電子顯微鏡Regulus系列


"Regulus系列"繼承了現(xiàn)有機(jī)型的觀察和分析性能,配備SU8200系列的低噪音冷場發(fā)射電子槍*1,可以獲得高穩(wěn)定的束流。




現(xiàn)有機(jī)型SU8240,SU8230,SU8220及SU8010重新整合,衍生而成Regulus8240、Regulus8230、Regulus8220、Regulus8100。
"Regulus系列"繼承了現(xiàn)有機(jī)型的觀察和分析性能,配備SU8200系列的低噪音冷場發(fā)射電子槍*1,可以獲得高穩(wěn)定的束流。
通過優(yōu)化電子光學(xué)系統(tǒng),Regulus8240/8230/8220在1 kV條件下分辨率提高到0.7 nm,Regulus8100的分辨率提高到0.8 nm。
此外,為充分發(fā)揮超高分辨的能力,放大倍率也從過去的100萬倍提升到200萬倍*1。
Regulus8240/8230/8220/8100還完善了用戶支持功能,通過此功能用戶更容易理解各種復(fù)雜信號的檢測原理,幫助用戶充分發(fā)揮儀器的*佳性能。
(*1Regulus8240/8230/8220)
特點(diǎn):


· 沿用"SU8200系列"的冷場發(fā)射電子槍*2
· 采用電子束在Flashing后出現(xiàn)的高亮度穩(wěn)定區(qū)域作為穩(wěn)定觀察的區(qū)間,使得低加速電壓條件下兼?zhèn)涓叻直嬗^察和分析的*佳性能
  (Regulus8240/8230/8220: 0.7 nm/1 kV、Regulus8100: 0.8 nm/1 kV)
· 采用污染小、高真空樣品倉
· 運(yùn)用能量過濾器(選配),可觀察到多種成分對比度*2


項(xiàng)目 Regulus 8100 Regulus 8220 Regulus 8230 Regulus 8240
二次電子分辨率 0.7 nm
(加速電壓15 kV)
0.8 nm
(著陸電壓1 kV)*3
0.6 nm(加速電壓 15 kV)
0.7 nm(著陸電壓 1 kV)*3
著陸電壓 0.1~2 kV 0.01~20 kV
放大倍率 20~1,000,000倍*4 20~2,000,000倍*4
樣品臺 樣品臺控制 3軸馬達(dá)臺(可選5軸馬達(dá)臺) 5軸馬達(dá)驅(qū)動
移動范圍 X 0~50 mm 0~50 mm 0~110 mm 0~110 mm
Y 0~50 mm 0~50 mm 0~110 mm 0~80 mm
R 360°
T -5~70°
Z 1.5~30 mm 1.5~40 mm
再現(xiàn)性 - - - ±0.5 µm以下含±0.5 µm
*3減速模式下觀察


*4以127 mm × 95 mm底片為基準(zhǔn)的倍率


關(guān)鍵詞:掃描電子顯微鏡
15168338725
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