Setra 760高精度真空計有一個完整的滑面,很容易提供有**的零點調(diào)節(jié)和量程調(diào)節(jié)的多匝電位計。Inconel® 材質(zhì)適用于全部濕原料所以可測量腐蝕性氣體,另外可提供不同類型的壓力和真空接頭。Setra 760高精度真空計中高精度的壓力傳感元件VactronSensor,是在Setra 磚利技術(shù)可變電容傳感技術(shù)基礎(chǔ)上發(fā)展來的。在敏感元件有一個饋入裝置組件支持一個鄰近膜片后表面的圓電極。電極和膜片在一個低壓接近真空的空間內(nèi)組成了一個可變電容。這一電容的變化被Setra 的集成電路檢測并被轉(zhuǎn)換成高精度的線性直流信號,該集成電路是根據(jù)西特磚利技術(shù)負荷平衡原理設計的。Setra 760高精度真空計采用革新的傳感設計獲得了**的零點穩(wěn)定性和大氣壓非敏感性。Model 760 傳感器包含了不易脆的或合成的部件,形成了與陶瓷式結(jié)構(gòu)相似的電容式壓力計。
Setra 760高精度真空計性能規(guī)范
精度:A ±0.25% of Reading 精度 :B ±0.15% of Reading 補償范圍:0~+50℃(+32~+122oF)零點偏移±0.005%FS/℃ 滿程偏移±0.02 分辨率無限的,僅受輸出噪聲的限制(0.01%FS) 耐壓:45 psia 時間常數(shù)<20ms 工作溫度* 0~+50℃ 存儲溫度-50~+125℃
Setra 760高精度真空計應用 ● 半導體過程工具和裝置 ● 實驗室和研究開發(fā)● 實驗和測量● 度量● 分析化學系統(tǒng);Setra 760高精度真空計特點■ **的熱穩(wěn)定性■ 出眾的EMI/RFI 性能■ 低價位■ 小巧緊湊的結(jié)構(gòu)■ 耐腐蝕的Inconel® 濕部件■ 多種壓力連接和電氣連接方式■ 符合CE 標準
Model 760 性能規(guī)范:機械參數(shù):殼體鋁合金、電氣連接15 針D 型插座或6 位螺紋接線端子、壓力接頭見訂購信息、腔體體積<6cm3、零點/ 滿程調(diào)節(jié)多匝電位計(在滑面底部)重量260 克(約9 盎司)