主要技術(shù)參數(shù):
• 具有2把離子槍,離子束能量為0.8keV-10keV,相對位置,可分別±45°傾斜,樣品臺傾斜角度-120°至 210°,離子束加工角度0°至90°,樣品
平面擺動角度<360°,垂直擺動距離±5mm。實際操作參數(shù)根據(jù)具體應(yīng)用需要選擇(系統(tǒng)備有參考參數(shù),也可自行設(shè)置參數(shù)并存儲)
• 可選配樣品臺:TEM樣品臺(Ø3.0mm或Ø2.3mm),F(xiàn)IB樣品清洗臺,SEM樣品臺,斜坡切割樣品臺(對樣品35°或90°斜坡切割)等
• SEM樣品臺可容納樣品尺寸:直徑25mm,高度12mm
• 全無油真空系統(tǒng),樣品室?guī)в蓄A抽室,保證樣品交換時間<1分鐘
• 全電腦控制,觸摸屏操作界面,內(nèi)置視頻觀察系統(tǒng),可實時觀察樣品處理過程