MTCS2601 熱導(dǎo)式壓力傳感器
一、熱導(dǎo)式壓力傳感器 MTCS2601 描述:
MTCS2601 傳感器由基于 MEMS 技術(shù)的 4 個 Ni-Pt 電阻組成的微機械的熱電導(dǎo)率傳感器。此傳感器安裝在小型的 SMD 封裝內(nèi)。同時結(jié)合了低功耗 CMOS 標準集成電路,非常適合 OEC 廠商的泄漏檢測,或者基于帕拉尼原理的真空度檢測,需要超低功耗,長壽命和免維護的產(chǎn)品。適用于惡劣環(huán)境下初級壓力控制,需要功耗和尺寸的限制,或者密閉空間中氣體泄漏或者水分, 或者侵入的監(jiān)測。
二、 熱導(dǎo)式壓力傳感器 MTCS2601特點:
MEMS 傳感器遵循沒有化學反應(yīng)的物理皮拉尼原理,基于氣體熱導(dǎo)率變化Vs壓力變化趨勢
測量范圍:0.0001~1000mbar,的可重復(fù)性
硅晶片上有加熱電阻,并且有優(yōu)異的溫度補償
超小的傳感器氣體體積例如< 0.1cm3
穩(wěn)定和長的 MTBF(>30000 小時) ,基于物理阻抗感應(yīng)原理
超低功耗消耗(<6mw),由于使用了帶小加熱元件的 MEMS 傳感器
超快響應(yīng)時間<50ms< span="">
對安裝位置不敏感
可以使用在串擾氣體環(huán)境中
與一個簡單恒定的溫度電路兼容
三、 熱導(dǎo)式壓力傳感器 MTCS2601應(yīng)用:
將該傳感器安裝在壓力閥或直接裝在真空溜管或系統(tǒng)中,例如小的機械抽真空系統(tǒng)、 真空泵和分析儀器。 泄露微型SMD傳感器可做專用壓力下的密閉系統(tǒng)或儀器控制的完整性檢測,它能做類似腐蝕或簡單地盒子打開后的檢測 (荷重元;飛輪系統(tǒng);Dewar保溫真空瓶...)