●形式:箱式一體機(jī),立式前開(kāi)門(mén),蒸發(fā)室和抽氣室為整體焊接式,沉積腔采用SUS304真空氬弧焊成型不,一體機(jī)系統(tǒng),可連接單排雙工位手套箱,中間用DN150超高真空插板閥隔斷。
●真空系統(tǒng):極限真空5X10-4Pa,主泵為復(fù)合分子泵,抽速600L/S,前級(jí)泵配置直聯(lián)泵,主閥匹配。
●真空測(cè)量:配數(shù)字復(fù)合真空計(jì),均采用防爆金屬測(cè)量規(guī)。
●工件架系統(tǒng):客戶(hù)需求定制,可放入4英寸掩模版,轉(zhuǎn)速3~30rpm變頻可調(diào)。
●烘烤系統(tǒng):匹配數(shù)字功率控制器和PID控制模塊,*高烘烤溫度300℃。
●電阻蒸發(fā)源:水冷電極引入,2套電阻蒸發(fā)源,蒸發(fā)功率5KW,配置8KWE型電子槍1套,膜厚測(cè)試系統(tǒng)。匹配石英膜厚儀,可與擋板聯(lián)動(dòng)。
●控制系統(tǒng):成熟可靠的真空鍍膜控制系統(tǒng),工業(yè)級(jí)10英寸觸摸屏和西門(mén)子PLC,能夠?qū)崿F(xiàn)抽真空、工轉(zhuǎn)烘烤、自動(dòng)冷卻放氣等鍍膜生產(chǎn)流程;支持半自動(dòng)和手動(dòng)等鍍膜操作方式。水、電、氣路有故障自動(dòng)報(bào)警和保護(hù)系統(tǒng),采用聲光報(bào)警。
●輔助系統(tǒng):配置冷水機(jī)1臺(tái),空壓機(jī)1臺(tái)。
●說(shuō)明:本系統(tǒng)含單排雙工位手套箱1臺(tái),單邊4個(gè)手套,有效長(zhǎng)度1.8米。