美國(guó) Entegris 英特格 直通式氣體過(guò)濾器 WG3NS8RR2 全新
美國(guó) Entegris 英特格 直通式氣體過(guò)濾器 WG3NS8RR2 全新
為超純氣體系統(tǒng)過(guò)濾提供的微粒過(guò)濾,是高溫和動(dòng)態(tài)壓力應(yīng)用的理想選擇。
- 的外殼組件通過(guò)最小化焊接區(qū)域來(lái)消除除氣
- 全金屬結(jié)構(gòu)是高溫和動(dòng)態(tài)壓力應(yīng)用的理想選擇
- 緊湊的尺寸和靈活的配件選擇提供了的設(shè)計(jì)效率并限度地降低了工程成本
材料 | 濾芯 | 燒結(jié)鎳膜過(guò)濾器 | ||
住房 | 電拋光 VAR316L 不銹鋼外殼 | |||
下游清潔度 | 粒子 | <0.03>0.03><1>1>3) >0.01 μm | ||
揮發(fā)物 | H 2 O、O 2和 THC 的揮發(fā)性脫氣低于檢測(cè)限(在室溫下通過(guò) RGA 和 FID) | |||
移除等級(jí) | ≥0.0015 微米 | |||
表面飾面內(nèi)飾 | ≤5μin Ra | |||
氦泄漏等級(jí) | 合格的 | 2 × 10 -10 atm-cc/秒。 | ||
已測(cè)試 | 1 × 10 -9 atm-cc/秒。 | |||
操作條件: | 入口壓力 | 20°C (68oF) 時(shí)為 20 MPa(200 bar,2900 psid) | ||
設(shè)計(jì)壓力 | 20°C (68oF) 時(shí)為 20 MPa(200 bar,2900 psid) | |||
正向/反向壓差 | 1 兆帕(10 巴,150 磅/平方英寸) | |||
工作溫度 | 惰性氣體 | 400°C (725°F) @ 35 bar (500 psi) | ||
腐蝕性和反應(yīng)性氣體 | 50°C (122°F) @ 70 bar (1000 psi) | |||
保修單 | 5年 | |||
顆粒保留 | 在 15 slpm 時(shí)去除所有顆粒大于 99.9999999% (9 LRV) | |||
流量等級(jí) | 參考性能數(shù)據(jù) |