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等離子體刻蝕終點(diǎn)檢測(cè)儀

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公司名稱北京英格海德分析技術(shù)有限公司
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型號(hào)
所在地
廠商性質(zhì)其他
更新時(shí)間2024/2/2 14:09:18
訪問(wèn)次數(shù)112

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公司介紹主營(yíng)產(chǎn)品

北京英格海德分析技術(shù)有限公司是分析儀器制造商在中國(guó)的代理。多年來(lái)，我們?cè)诳蛻糁薪⒘肆己玫穆曌u(yù)。我們的客戶多數(shù)都是工作在新技術(shù)研究的前沿，如催化化學(xué)、氫能研究、等離子體物理、表面科學(xué)、大氣環(huán)境監(jiān)測(cè)、半導(dǎo)體材料和微納米測(cè)量領(lǐng)域。我們與他們保持著密切的、積極的關(guān)系。我們?cè)跒榭蛻籼峁﹥x器設(shè)備的同時(shí)，還為他們提供了及時(shí)周到的售后服務(wù)，讓用戶無(wú)后顧之憂，使其專心科研。

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介在線詢價(jià)

The IMP-EPD is a differentially pumped, ruggedised secondary ion mass spectrometer for the analysis of secondary ions and neutrals from the ion beam etch process.

等離子體刻蝕終點(diǎn)檢測(cè)儀產(chǎn)品信息

IMP離子蝕刻探針（Ion Milling Probe），自帶差式泵，堅(jiān)固的二次離子質(zhì)譜儀，適于分析離子蝕刻過(guò)程中的二次離子和中性粒子。的專業(yè)終點(diǎn)檢測(cè)（End Point Detection）儀器，用于離子蝕刻控制以及過(guò)程優(yōu)化監(jiān)測(cè)。

·差式泵歧管，經(jīng)連接法蘭，接到過(guò)程室
·離子光學(xué)器件，帶能量分析器和內(nèi)置離子源
·Penning規(guī)和互鎖裝置，以提供過(guò)壓保護(hù)
·數(shù)據(jù)系統(tǒng)與過(guò)程控制工具整合

·高靈敏度的 SIMS / MS，帶脈沖離子計(jì)數(shù)檢測(cè)器
·三級(jí)過(guò)濾四極桿，標(biāo)準(zhǔn)配置質(zhì)量數(shù)為300amu
·穩(wěn)定性(24h以上，峰高變化小于 ±0.5%)
·通過(guò) RS232、RS485或以太網(wǎng)，軟件MASsoft控制
·程控DDE, 平行數(shù)字式I/O，RS232通訊