皮米精度位移激光（可試用）

        昊量光電推出的皮米精度位移干涉測量儀quDIS是對納米級別的位移波動進(jìn)行量測的理想儀器，基于其的測量原理，相對距離的重復(fù)精度達(dá)到了的50皮米。quDIS可同時支持三個測量通道，使其可以適用于任意的多軸測量中。quDIS在原理上同樣采用激光干涉法，不過與傳統(tǒng)激光干涉儀相比，其集成了法珀腔（Reference cavity）及飽和吸收氣室（GC）作為頻率校準(zhǔn)參考，通過激光波長調(diào)諧掃描，比較兩種不同的干涉圖樣，可以實現(xiàn)其它設(shè)備所不具有的距離測量，基于這種測量方式，使得quDIS相對其他產(chǎn)品測量距離可以達(dá)到5M的同時保持高精度，且與信號對比度和強(qiáng)度無關(guān)，由于使用整個干涉模式來提取位移信息，因此不存在非線性誤差。此外，quDIS不僅可以獲得位置、速度和加速度等信息，折射率、反射率或表面傾斜度等信息也可以從實時信號中提取得到。

                        的法珀腔+飽和吸收氣室構(gòu)造                               波長的線性變化的引入在此構(gòu)造下使得距離的測量成為可能！

干涉?zhèn)鞲蓄^

       激光束的成型是通過不同的傳感器頭來實現(xiàn)的，根據(jù)反射目標(biāo)的不同，不同的應(yīng)用都需要不同的準(zhǔn)直、聚焦和光束剖面約束。quDIS的傳感器頭均基于設(shè)計。quDIS為常規(guī)情況下的使用提供標(biāo)準(zhǔn)準(zhǔn)直儀和定焦傳感頭，同時根據(jù)具體的需要以及惡劣環(huán)境下的應(yīng)用，也設(shè)計了響應(yīng)的特殊傳感頭。

                       用于測量高溫漂移物體的傳感器頭的設(shè)計                                         鎳鐵合金制造的低熱膨脹系數(shù)準(zhǔn)直頭

環(huán)境測試模塊（AMU）

      環(huán)境測試模塊（AMU）設(shè)計用于補(bǔ)償由溫度T、壓力p和相對濕度rH波動引起的折射率變化，總體精度為1ppm。

產(chǎn)品特點：

•  多維度多通道位移干涉器，操作簡單，即插即用

•  相對距離和距離測量

•  完善的全套系統(tǒng)配置

•  實時輸出數(shù)字化圖像

•  針對不同應(yīng)用提供各種傳感接頭及反射模塊組合解決方案

•  長期使用保證穩(wěn)定性

•  兼容真空與各種惡劣環(huán)境

優(yōu)勢：

•  距離高精度測量！

•  不存在非線性及周期性誤差！

•  相對距離信號穩(wěn)定性<>

•  工作距離大至5m（與傳感頭相關(guān)）

•  目標(biāo)速度＜3m/s

•  三個傳感接口，可實現(xiàn)多設(shè)備同步

•  探測器分辨率達(dá)到1pm

應(yīng)用領(lǐng)域：

•   極限環(huán)境下振動分析

•   緩慢漂移及熱膨脹檢測

•   精密設(shè)備位置控制

•   納米級位移測量

•   層狀結(jié)構(gòu)中間隙和邊緣的測量

•   位移和振動精度評估

  
  

皮米精度位置測量儀參數(shù)列表：