智能型多功能橢偏儀產(chǎn)品特點(diǎn):
1、一鍵式操作,直接報(bào)告輸出
2、液晶調(diào)制技術(shù),測(cè)量光路中無(wú)運(yùn)動(dòng)部件
3、CCD探測(cè)系統(tǒng),快速全譜輸出
4、多個(gè)微光斑尺寸選擇,可視技術(shù)
5、多角度測(cè)量
6、可實(shí)現(xiàn)在線測(cè)量配置
橢圓偏振儀技術(shù)參數(shù):
1、光譜范圍:450-1000nm
2、多種微光斑自動(dòng)選擇
3、光斑可視技術(shù),可觀測(cè)任何樣品表面
4、CCD探測(cè)器
5、自動(dòng)樣品臺(tái)尺寸:200mmX200mm;XYZ方向
6、自動(dòng)調(diào)節(jié); Z軸高度>35mm
智能型多功能橢偏儀Smart SE采用多功能性設(shè)計(jì),配置靈活,具備多角度測(cè)量能力,可方便實(shí)現(xiàn)在線與離線配置切換。是一款針對(duì)單層和多層薄膜進(jìn)行簡(jiǎn)單,快速,精確表征和分析的工具。