為苛刻的工藝過(guò)程快速和精確的溫度控制
熱電溫度控制系統(tǒng)LAUDA Semistat為等離子刻蝕工藝提供穩(wěn)定的可重復(fù)性的溫度控制。系統(tǒng)動(dòng)態(tài)地控制靜電卡盤(ESC)的溫度并可以用在任何的刻蝕工藝中。LAUDA Semistat 熱電溫度控制系統(tǒng)設(shè)計(jì)的基礎(chǔ)是基于帕爾帖原理的溫度轉(zhuǎn)換, 這些原件可以實(shí)現(xiàn)快速且精確的溫度控制,滿足了當(dāng)今元器件生產(chǎn)尺寸越來(lái)越小的要求。
與基于壓縮機(jī)的系統(tǒng)相比,熱點(diǎn)在線使用 Semistat 溫度控制系統(tǒng),降低能耗多達(dá) 90 %??砂惭b在使用地點(diǎn)的地下,非常節(jié)省空間,這樣大限度地減少無(wú)塵室的使用??焖俸途_地將過(guò)程溫度曲線控制在 ±0.1 K,從而提高晶圓間均質(zhì)性。
重要功能:
- 低能耗,沒(méi)有壓縮機(jī)和制冷劑的系統(tǒng)
- 占地空間小,如果放置在地板下方則不占用Sub-Fab
- 極低的導(dǎo)熱液體填充量
技術(shù)參數(shù):