產品特點:
·較低的電噪聲
·一個控制器和ROE將同時帶動兩個步進式電機驅動微電極運動
·用戶界面:單獨按鈕可對設備進行所有主要功能的操作
·通過ROE旋鈕及DIP開關,自檢測及()功能可幫助實現微電極在三個軸向及不同傾斜角度的移動
·第四個球形軸的設置不需要電腦控制
·簡單的選擇切換模式(自動:連續(xù)移動/單位位移、手動)
·可顯示X,Y,Z軸上的坐標、模式及微電極的運行狀態(tài)
·可設置微電極回到原點或相對原點位置以便于更換或進行其他操作
·極小的傳動誤差可使得微電極更流暢快速的移動
·RS-232串聯(lián)接口
技術參數:
行 程:3軸電動控制行程1英寸(25mm)
單位位移:最小單位位移62.5nm/step
速率:2.9mm/s
傳動誤差:小于0.5μm/20h
傳動裝置:渦輪傳動
尺 寸
控制器:15.75×10.75×3.5(in)40×27.3×9(cm)
ROE:10×6×4(in)25×15×23(cm)
重 量
主 機:6.5lbs/3kg
ROE:3.5lbs/1.6kg
電源電壓:115/230V 50/60Hz