無氧化烘箱|イナートオーブン|Inert Gas Ovens
適用范圍:
適用于半導(dǎo)體、光電元件、能原材料、通訊產(chǎn)品、機(jī)電產(chǎn)品等作無氧化干燥、固化、焊接、退火等高溫處理。
封裝測試;所有的Lead PKG、BGA、MCM;光刻工藝有機(jī)聚合物膜預(yù)固化、堅膜;銀漿固化、模后固化、電鍍退火;基板除潮、晶圓干燥退火等。
產(chǎn)品特點:
1、密封 性設(shè)計:內(nèi)材質(zhì)用SUS304不銹鋼板,整個內(nèi)桶用氬弧焊滿焊,防止空氣進(jìn)入烘箱內(nèi),同時節(jié)省惰性氣體;
2、外部防塵處理:外材質(zhì)為SPCC鋼板經(jīng)過蘇打水清洗后粉體烤漆處理;
3、節(jié) 能:保溫材質(zhì)為高密度纖維棉,保溫效果好;
4、分層結(jié)構(gòu)設(shè)計:內(nèi)箱層板高低可調(diào),可自由取出;
5、移動 自由:箱體有活動腳輪,可任意推動和固定位置;
6、高效過濾器:安裝耐高溫高效過濾器,獲得潔凈的烘烤環(huán)境;(選配)
7、內(nèi)循環(huán)風(fēng)設(shè)計:強(qiáng)制送風(fēng)內(nèi)循環(huán),確保溫度均勻;
8、氮氣預(yù)熱結(jié)構(gòu)設(shè)計;
9、冷 系 統(tǒng):配備冷卻系統(tǒng),可減少等待時間,提高效率;(選配)
10、寬泛的溫度范圍選擇;
技術(shù)參數(shù)
型號 規(guī)格參數(shù) | HOC- WYH81 (A3~D) | HOC- WYH180 (A3~D) | HOC- WYH409 (A3~D) | HOC-WYH1361 (A3~D) | ||||||||
內(nèi)箱尺寸(W*D*H)mm | 350*580*400 | 600*600*500 | 640*640*1000 | 990*1100*1250 | ||||||||
工作腔數(shù)量 | 1 單腔 | 2 雙腔 | 4 四腔 | 1 單腔 | 2 雙腔 | 4 四腔 | 1 單腔 | 1 單腔 | 2 雙腔 | |||
外型尺寸(W*D*H)mm | 以實物為準(zhǔn)(溫度不同外箱尺寸不同) | |||||||||||
工作溫度范圍 | A3:室溫~200℃ A2:室溫~250℃ B2:室溫~350℃ C2:室溫~450℃ D:室溫~600℃ | |||||||||||
氧含量 | I:500ppm; II:200ppm; III:50ppm Ⅳ:20ppm | |||||||||||
機(jī)器性能 | 控制精度 | 0.1℃ | ||||||||||
分布均勻度 | ±2.0℃% | |||||||||||
升溫 時間 | ℃ | 175 | 250 | |||||||||
min | 30 | 40 | ||||||||||
材質(zhì) | 外部材質(zhì) | SPCC鋼板粉體烤漆處理 | ||||||||||
內(nèi)部材質(zhì) | SUS﹟304不銹鋼數(shù)控折彎成型 | |||||||||||
隔熱材質(zhì) | 陶瓷纖維棉 | |||||||||||
密封材料 | 采用耐高溫硅橡膠 | |||||||||||
循環(huán)系統(tǒng) | 多翼式循環(huán)風(fēng)扇 | |||||||||||
氮氣裝置 | 流量計大小可調(diào)(L/min) | |||||||||||
加熱器 | 不銹鋼高速加熱器 | |||||||||||
計時器 | 0.1S~9999H | |||||||||||
溫控器 | 普通標(biāo)準(zhǔn)型/觸摸屏PLC程序控制型 | |||||||||||
其它配件 | 隔層置物架(不銹鋼沖孔盤2片) | |||||||||||
安全裝置 | 電路系統(tǒng)負(fù)載保護(hù),風(fēng)機(jī)過載保護(hù),溫到計時時到斷加熱,故障警示燈 | |||||||||||
選配件 | ①多點測溫查看及記錄功能;②氧含量分析儀;⑥聯(lián)網(wǎng)功能;⑦HEPA高效過濾器;⑧快速降溫系統(tǒng) | |||||||||||
電源(V) | 220 | AC 3相5線380V 50HZ | ||||||||||
注:1、以上數(shù)據(jù)均在環(huán)境溫度(QT)25℃.工作室無負(fù)載條件下測得 |