橡膠密封熱式質(zhì)量流量計(jì)4800 系列
經(jīng)驗(yàn)證具有靈活性,能夠滿足各種質(zhì)量流量測(cè)量需求。
布魯克斯儀器的橡膠密封質(zhì)量流量計(jì)和控制器將工藝所需的準(zhǔn)確性、可靠性和可重復(fù)性相結(jié)合,是一種能夠?yàn)槟峁└呔刃阅芎烷L(zhǎng)期穩(wěn)定性并且經(jīng)濟(jì)有效的測(cè)量?jī)x器。結(jié)果:使運(yùn)營(yíng)投資價(jià)值和回報(bào)。
關(guān)鍵應(yīng)用
化學(xué)品與石化分析和試驗(yàn)過(guò)程
實(shí)驗(yàn)室和分析系統(tǒng)
生命科學(xué)實(shí)驗(yàn)室
薄膜氣相沉積
熱處理、切割等其他熱過(guò)程
真空應(yīng)用
選擇自身工藝需求的質(zhì)量流量設(shè)備。
響應(yīng)時(shí)間極快,適用于對(duì)時(shí)間要求嚴(yán)格的工藝
型號(hào) 4850 / 4860
熱式質(zhì)量流量計(jì)和控制器的響應(yīng)速度越快,工藝就越高效,生產(chǎn)效率越高。響應(yīng)速度是 4800 系列的主要優(yōu)勢(shì):該產(chǎn)品將基于 MEMS 的高級(jí)熱傳感器與的 PID 算法相結(jié)合以優(yōu)化控制閥的響應(yīng)速度,因此使4800 系列控制器能夠根據(jù)設(shè)定值變化快速匹配實(shí)際的流量。本地操作界面 (LOI) 的選項(xiàng)能便于用戶對(duì)設(shè)備進(jìn)行查看、控制和配置,無(wú)需遠(yuǎn)程二次儀表。
特點(diǎn)
流量響應(yīng)時(shí)間(完成時(shí)間)<0.75 s
創(chuàng)新型 MEMS 傳感器和的 PID 算法
尺寸小巧,不足常規(guī)熱式MFC的 一半:1'' x 3''x 4'' (25 mm x 76 mm x 101 mm)
本地操作界面 (LOI) 選項(xiàng)可簡(jiǎn)化設(shè)置和操作;免費(fèi)提供 LabVIEW VI 下載以進(jìn)行設(shè)備監(jiān)測(cè)和調(diào)零
通過(guò) RS-232 實(shí)現(xiàn)數(shù)字化功能
優(yōu)勢(shì)
非常適用于各種常見的無(wú)腐蝕性氣體
響應(yīng)速度快,可在切換工藝配方時(shí)確保各步驟的迅速完成
非常適用于各 OEM:尺寸小巧,可輕松集成至緊湊的設(shè)備空間內(nèi)并有助于加快安裝
可選本地操作界面 (LOI) 是本地指示、設(shè)定值控制和設(shè)備配置的一站式解決方案;無(wú)需借助遠(yuǎn)程二次儀表
擁有多種通信方式,可輕松滿足用戶需求
應(yīng)用
熱處理、切割/焊接等其他熱式工藝
太陽(yáng)能/薄膜物理氣相沉積 (PVD) 系統(tǒng)
用于測(cè)量和控制反應(yīng)物、校準(zhǔn)和樣品氣體流量的分析設(shè)備
型號(hào)
規(guī)格
性能
等級(jí)
機(jī)械
診斷和顯示
電氣
附加設(shè)備
承諾