無塵凈化室(Clean Room),亦稱為無塵室,凈化室或無塵車間。它是污染控制的基礎。沒有無塵凈化室,污染敏感零件不可能批量生產。在 FED-STD-2里面,無塵凈化室被定義為具備空氣過濾、分配、優(yōu)化、構造材料和裝置的房間,其中特定的規(guī)則的操作程序以控制空氣懸浮微粒濃度,從而達到適當的微粒潔凈度級別。
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