行程200x100mm，精度<1um，MT mot電動(dòng)測(cè)量平臺(tái)
為滿足用戶需求，海納光學(xué)所代理的德國(guó)Marzhauser Wetzlar為用戶提供不同的配置選擇，方便用戶集成并規(guī)劃實(shí)驗(yàn)室系統(tǒng)。
德國(guó)Marzhauser Wetzlar為用戶提供電動(dòng)測(cè)量系統(tǒng)，與TANGO控制器和兩軸手柄配合，可以實(shí)現(xiàn)XY兩軸控制，除MT mot 50 × 50外，MT mot 100 x 100 MR及MT mot 200 x 100 MR均搭載Marzhauser的MR測(cè)量系統(tǒng)。
其中MT mot 50 x 50的子型號(hào)分別適用于透射光應(yīng)用，反射光應(yīng)用及硬度測(cè)試，除外殼及整體結(jié)構(gòu)外，參數(shù)相同。2相步進(jìn)電機(jī)為高精度的步進(jìn)單位（分辨率）提供了基礎(chǔ)，可提供60mm/s的運(yùn)行速度，方便用戶集成自己的測(cè)量系統(tǒng)，MT mot 100 x 100 MR及MT mot 200 x 100 MR因配置MR測(cè)量系統(tǒng)的原因，導(dǎo)致最小步進(jìn)略大于MT mot 50 x 50，但是以上設(shè)備具備更高的重復(fù)精度，其中MT mot 200 x 100 MR可以保持的準(zhǔn)確性。
電動(dòng)測(cè)量載物臺(tái)MT mot 50 x 50
| 訂購(gòu)型號(hào) | 00-36-102-0000 | 00-36-104-0000 | 00-36-109-0000 |
| 測(cè)量范圍 | 50 x 50 mm (2" x 2") | 50 x 50 mm (2" x 2") | 50 x 50 mm (2" x 2") |
| 雙向重復(fù)精度 | < 1 μm | < 1 μm | < 1 μm |
| 準(zhǔn)確度 | 測(cè)量長(zhǎng)度/ 40+2.5 | 測(cè)量長(zhǎng)度/ 40+2.5 | 測(cè)量長(zhǎng)度/ 40+2.5 |
| 分辨率 | < 0,01 μm | < 0,01 μm | < 0,01 μm |
| 電機(jī) | 2相步進(jìn)電機(jī) | 2相步進(jìn)電機(jī) | 2相步進(jìn)電機(jī) |
| 行程速度 | 60 mm/s, with 1 mm ball screw pitch | 60 mm/s, with 1 mm ball screw pitch | 60 mm/s, with 1 mm ball screw pitch |
| 重量 | 3.5 kg | 3.5 kg | 3.5 kg |
| 載重 | 5 kg | 5 kg | 5 kg |
電動(dòng)測(cè)量載物臺(tái)MT mot 200 x 100 MR
| 訂購(gòu)型號(hào) | 00-34-106-0000 00-34-107-0000 |
| 測(cè)量范圍 | 200 x 100 mm (8" x 4") |
| 雙向重復(fù)精度 | < 1 μm |
| 準(zhǔn)確度 | ± 1 μm |
| 分辨率 | < 0,05 μm |
| 電機(jī) | 2相步進(jìn)電機(jī) |
| 行程速度 | 60 mm/s, with 1 mm ball screw pitch 120 mm/s, with 2 mm ball screw pitch |
| 重量 | 9 kg |
| 載重 | 5 kg |
電動(dòng)測(cè)量載物臺(tái)MT mot 100 x 100 MR
| 訂購(gòu)型號(hào) | 00-34-403-0000 00-34-404-0000 |
| 測(cè)量范圍 | 100 x 100 mm (4" x 4") |
| 雙向重復(fù)精度 | < 1 μm |
| 準(zhǔn)確度 | 測(cè)量長(zhǎng)度 / 40 +2,5（μm） |
| 分辨率 | < 0,05 μm |
| 電機(jī) | 2相步進(jìn)電機(jī) |
| 行程速度 | 60 mm/s, with 1 mm ball screw pitch 120 mm/s, with 2 mm ball screw pitch |
| 重量 | 7 kg |
| 載重 | 5 kg |
