益處
- 擁有成本更低,預熱速度快 50%,節(jié)能,低功耗
- 易于集成,各種滿刻度、法蘭和接口,標配兩個設定點
- 輕松一鍵歸零或遠程信號歸零指令,可調零點偏移
- 診斷端口便于快速服務與維護
- 兩年保修服務,的加熱概念和真空計保護延長了使用壽命
- 的信號穩(wěn)定性和可重復性,即使是最嚴苛的等離子應用,都無需長期執(zhí)行重新校準
- 合規(guī)性和標準:CE、EN、UL、SEMI、RoHS
典型應用
- 蝕刻、CVD、PVD 及其他半導體生產過程
- 化學和腐蝕性真空過程
- 一般薄膜和真空過程
- 作為基準儀器監(jiān)控測試儀器是否符合國際標準
- 符合傳遞標準,確保測量可追溯性
規(guī)格
類型 | 1000 Torr, 1100 mbar | 500 ... 1 Torr / mbar | 0.5 ... 0.05Torr / mbar | |
---|---|---|---|---|
精度 (1) | % of reading | 0.15 | 0.15 | 0.15 |
溫度效應 | ||||
零點 | percent FS/°C | 0.0025 | 0.0025 | 0.005 |
滿量程 | % of reading / °C | 0.01 | 0.01 | 0.01 |
壓力, | kPa (absolute) | 400 | 260 | 130 |
分辨率 | percent FS | 0.003 | 0.003 | 0.003 |
讀數 | percent FS | 0.01 | 0.01 | 0.01 |
建議的讀數 | percent FS | 0.05 | 0.05 | 0.05 |
建議的控制壓力 | percent FS | 0.5 | 0.5 | 0.5 |
溫度 | ||||
運行(環(huán)境) | °C | +10 … +40 | +10 … +40 | +10 … +40 |
在法蘭處烘烤 | °C | ≤110 | ≤110 | ≤110 |
貯存 | °C | –20 … +65 | –20 … +65 | –20 … +65 |
電源電壓 | +14 … +30 VDC or ±15 V (±5%) | +14 … +30 VDC or ±15 V (±5%) | +14 … +30 VDC or ±15 V (±5%) | |
功耗 | ||||
加熱時 | W | ≤12 | ≤12 | ≤12 |
運行溫度 | W | ≤8 | ≤8 | ≤8 |
輸出信號(模擬) | V (dc) | 0 … +10 | 0 … +10 | 0 … +10 |
反應時間 (2) | ms | 30 | 30 | 130 / 30 (3) |
保護等級 | IP 40 | IP 40 | IP 40 | |
標準 | ||||
CE 合規(guī) | EN 61000?6?2/-6-3, EN 61010 & RoHS | EN 61000?6?2/-6-3, EN 61010 & RoHS | EN 61000?6?2/-6-3, EN 61010 & RoHS | |
ETL 認證 | UL 61010?1, CSA 22.2 No.61010?1 | UL 61010?1, CSA 22.2 No.61010?1 | UL 61010?1, CSA 22.2 No.61010?1 | |
SEMI 合規(guī) |
CDG045D高精度真空計