Z514, Z524 DevicenetTM
Mass Flow Controller / Meter
Mass flow controller model *1 SEC-Z514KX SEC-Z514MGX SEC-Z524MGXN SEC-Z524MGX
Mass flow meter model *1 SEF-Z514KX SEF-Z514MGX SEF-Z524MGXN SEF-Z524MGX
Full-scale flow rate MR/MG number
(N2 conversion flow rate) #R01:10SCCM
#R1.5:17.5SCCM
#01:30SCCM
#1.5:55SCCM
#02:100SCCM
#2.5:175SCCM
#03:300SCCM
#3.5:550SCCM
#04:1SLM
#4.5:1.75SLM
#05:3SLM
#5.5:5.5SLM
#06:10SLM
Valve Type
Flow rate at fully closed control valve
Flow rate control range
Flow rate measuring range (SEF)
Operating temperature
Response
Linearity
Repeatability
50 to 300 kPa (d)
#5.5, #06: 100 to 300 kPa (d)
Operating differential pressure (SEF)
MAX. Operating pressure
Pressure resistance
Leak Integrity
Digital interface
Wetted materials
Power supply
1/4 inch VCR equivalent
Option: 1.125 inch IGS
Mounting orientation
*1 The gas type and full scale settings for the SEC(SEF)-Z514MGX and Z524MGXN can be changed by
the operator, using special software.
*2 The flow rate precision guaranteed temperatures conform to SEMI E56-1296 standards. The precision is that
associated with the full-scale MR and MG number values.
*3 IGS: Integrated Gas System
* SCCM and SLM are notations indicating the gas flow rate (mL/min, L/min, at 0°C and 101.3 kPa).
≤ 2% F.S.
2-99% of F.S.
0-99% of F.S.
≤ 1 second: Over full flow rate range
≤ ±0.5% F.S.
≤ ±0.2% F.S.
±0.25% F.S. (Flow rate ≤ 25% F.S.)
Conforming to ODVA standards, DC 24 V, 4.0 VA
450kPa(g)
Operating differential pressure 50 to 300 kPa (d) 200 to 300 kPa (d)
≤ 300 kPa (d)
1000kPa(g)
≤ 5 x 10-12Pa·m3/s (He)
DeviceNet? Protocol
316L Stainless Steel (polished surface)
Standard Fitting *3 1/4 inch VCR equivalent 1.5 inch IGS
Free
Option: 1.125 inch IGS, 1.5 inch IGS
1/2SCCM
MR/MG number
O: Normally open C: Normally closed
#6.5:22SLM
#07:30SLM
#08:50SLM
Accuracy *2 ±1.0%F.S. ±1.0% S.P. (Flow rate > 25% F.S.)
5 to 50°C (recommended temperature range: 15 to 45°C)
Z514/524 Web Ver.001
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無錫市三環(huán)儀器有限公司專業(yè)從事紡織工業(yè)檢測、太陽能光伏、半導體、石油化工、平面顯示、集成電路、光纖制造、各大科研院校等質量流量控制系統(tǒng)的銷售與服務。是質量、流量、壓力、真空、溫度測量與控制系統(tǒng)的專業(yè)供應商。 質量流量控制事業(yè)部專業(yè)從事銷售服務世界的MFC，品牌有：Brooks、MKS、UNIT、Tylan、AE、STEC、Alicat等，品種規(guī)格齊全，同時經銷真空和鍍膜設備的品牌包括：INFICON（膜厚控制儀、真空計/真空規(guī)、四極質譜儀、壓強控制系統(tǒng)、氦質譜檢漏儀、冷媒檢漏儀、真空閥門），COMDEL、AE、HUETTINGER(直流電源、射頻電源、中頻電源），VARIAN、PFEIFFER真空泵等；氣體壓力及流量測量和控制, 射頻 /直流 /微波電源發(fā)生器及測量工具, 氟離子 /臭氧反應氣體發(fā)生器, 真空產品, 氣體分析儀, 靜電控制及信息和控制技術等產品。我們的氣體流量校準系統(tǒng)，對任何品牌的MFC都可精確的清洗校準。外觀光潔如新，性能可靠，原廠驗收標準。 紡織工業(yè)事業(yè)部專業(yè)從事紡織測試儀器的研發(fā)與銷售，產品廣泛應用于紡織、印染、服裝、皮革、化工、印刷、材料等行業(yè)的顏色管理、品質檢測、實驗室打樣等。涉及GB、ISO、ASTM、AATCC、BS、EN、DIN、JIS等標準，涵括各種紡織材料的強力、色牢度、縮水率、透氣、阻燃、耐磨、起球性能等測試儀器一百余種。產品已廣泛用于全國各大質檢科研機構及廣大紡織、印染、服裝企業(yè)，并遠銷美國、德國、日本、巴基斯坦、印度、越南、孟加拉、澳大利亞等國家。同時特許經銷AATCC、SDC、ISO、JIS等國際標準實驗耗材，為客戶提供了實驗室整體解決方案，深受客戶好評！同時簽約的有：美國x﹒rite、美國whirlpool、英國VeriVide、瑞士mettler Toledo荷蘭PHILIPS等。 創(chuàng)新、生命之元，誠信、始能為亨，質量、銳意求超，效益、共濟利群。
SEC-Z524MGX質量流量控制器 產品信息
