- 搭載熱感閥
- 追求成本優(yōu)勢、實現(xiàn)成本降低
規(guī)格
SEC-400MK3 | |
氣體接觸部材質(zhì) | SUS-316、氟化橡膠 |
閥門類型 | NO: 非通電時:開 |
標(biāo)準(zhǔn)流量量程 | 10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2/3/5 SLM :空氣.N2.O2.Ar.H2.He |
流量控制范圍 | 5?100% F.S.(滿量程) |
流量精度 | ±2.0% F.S.(滿量程) |
SEC-500MK3 | |
氣體接觸部材質(zhì) | SUS-316、氟化橡膠 |
閥門類型 | NO: 非通電時:開 |
標(biāo)準(zhǔn)流量量程 | 10/20 SLM :空氣.N2.O2.Ar.H2.He |
流量控制范圍 | 5?100% F.S.(滿量程) |
流量精度 | ±2.0% F.S.(滿量程) |