GCIB10S是一種高性能10千伏氣體團簇離子束,用于快 速、低損傷濺射和更高質量的表面分析。 GCIB 10S提供了大量有用的功能,包括實時集群大小測 量和內置樣本電流成像系統(tǒng),以幫助您充分利用實驗。 GCIB 10S具有完整的泵送系統(tǒng)和單獨軟件,是一種栓接式 升級,將集束束濺射的力量引入現(xiàn)有的真空儀器,如 XPS、SEM和SIMS。
GCIB 10S可去除不定碳和其他表面污染,而不會損壞基材, 同時還可對有機物和聚合物等軟材料進行無損傷深度剖析。 下圖顯示了分別使用Ar1和Ar2000蝕刻原始PET表面前后的C 1s 峰值。數(shù)據(jù)清楚地顯示了單原子Ar1束(紅色)造成的化學損 傷,而光譜在暴露于Ar2000束(藍色)后幾乎保持不變。
- 10kV氬團簇離子源,可選擇Ar1至 >Ar3000的團簇。
- 實時集群測量和調整。
- 采樣電流成像。
- 光斑尺寸大,掃描范圍寬,可均勻去 除材料。
- 易于安裝在許多高真空儀器上。
- 單獨軟件和基于web套接字的API,用 于與第三方軟件集成。