特征
非色散固態(tài)紅外檢測器,高精度,高分辨率
- 可編程通過功率及電流控制的脈沖電極爐
- 分析精度及準(zhǔn)確度精確至ppm級別
- 低空白值,配置適合硅片進(jìn)樣的進(jìn)樣口
- 配置具有安全保護(hù)性能的試劑容器
- 儀器全新的氣路設(shè)計(jì)需要更少的維修
- 氧含量輸入采用ppma格式
- Windows® 操作系統(tǒng)
特點(diǎn)及優(yōu)勢
試樣的進(jìn)樣系統(tǒng)設(shè)計(jì)可連續(xù)樣品加載,低大氣空白和高載氣純度。在進(jìn)樣系統(tǒng)的滑槽式的設(shè)計(jì)中,硅片可連續(xù)進(jìn)樣。
雙密封,磁加載機(jī)械機(jī)構(gòu)以及集成的氧/水氣捕集器,使得進(jìn)樣系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)零大氣污染,并保持的載氣氣體的純度。