真空紫外橢偏儀專為VUV 測量設(shè)計(jì),整個(gè)系統(tǒng)處于真空狀態(tài),無氧氣吸收。具備高度準(zhǔn)確性;*的超快測量速度;快速樣品室抽真空能力,方便快速更換樣品;氮?dú)庀牧可佟?/p>
真空紫外橢偏儀產(chǎn)品特點(diǎn)
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50KHz 高頻PEM 相位調(diào)制技術(shù)
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45 秒內(nèi)完成充氮?dú)?/p>
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2 分鐘內(nèi)完成樣品室抽真空
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8 分鐘內(nèi)完成光譜全譜范圍內(nèi)測量
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兩種工作模式:氮?dú)馇逑唇Y(jié)合抽
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真空、連續(xù)氮?dú)馇逑?/p>
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光譜范圍:147nm~850nm;147nm~2100nm
重點(diǎn)應(yīng)用領(lǐng)域
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超薄膜
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157nm 光刻新材料
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有機(jī)材料、高分子材料
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高k 材料:HfO2、Al2O3、TiO2、HfxAlyOz
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抗反射涂層
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半導(dǎo)體和介電材料電子躍遷
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MgF2、CaF2、LaF3