一鍵式全自動(dòng)快速橢偏儀儀器簡介
新型的全自動(dòng)薄膜測量分析工具,工業(yè)化設(shè)計(jì),操作簡單,可在幾秒鐘內(nèi)完成全自動(dòng)測量和分析,并輸出分析報(bào)告。是用于快速薄膜測量和器件質(zhì)量控制理想的解決方案。
一鍵式全自動(dòng)快速橢偏儀技術(shù)參數(shù)
·光譜范圍:450-1000 nm
·多種微光斑自動(dòng)選擇
·光斑可視技術(shù),可觀測任何樣品表面
·CCD探測器
·自動(dòng)樣品臺尺寸:200mmX200mm;XYZ方向自動(dòng)調(diào)節(jié); Z軸高度>35mm
·70度角入射
主要特點(diǎn)
·*自動(dòng)化設(shè)計(jì),一鍵式操作,直接報(bào)告輸出
·液晶調(diào)制技術(shù),測量光路中無運(yùn)動(dòng)部件
·CCD探測系統(tǒng),快速全譜輸出
·多個(gè)微光斑尺寸選擇,可視技術(shù)
·封閉式樣品倉