等離子體清洗的機(jī)理:
1、什么是等離子體
等離子體是物質(zhì)的一種存在狀態(tài),通常物質(zhì)以固態(tài)、液態(tài)、氣態(tài)3種狀態(tài)存在,但在一些特殊的情況下可以以第四種狀態(tài)存在,如太陽(yáng)表面的物質(zhì)和地球大氣中電離層中的物質(zhì)。這類(lèi)物質(zhì)所處的狀態(tài)稱(chēng)為等離子體狀態(tài),又稱(chēng)為物質(zhì)的第四態(tài)。
等離子體中存在下列物質(zhì):處于高速運(yùn)動(dòng)狀態(tài)的電子;處于激活狀態(tài)的中性原子、分子、原子團(tuán)(自由基);離子化的原子、分子;分子解離反應(yīng)過(guò)程中生成的紫外線(xiàn);未反應(yīng)的分子、原子等,但物質(zhì)在總體上仍保持電中性狀態(tài)。
2、等離子體清洗的機(jī)理
由于等離子體中的電子、離子和自由基等活性粒子的存在,其本身很容易與固體表面發(fā)生反應(yīng)。等離子體清洗主要是依靠等離子體中活性粒子的“活化作用"達(dá)到去除物體表面污漬的目的。
就反應(yīng)機(jī)理來(lái)看,等離子體清洗通常包括以下過(guò)程:無(wú)機(jī)氣體被激發(fā)為等離子態(tài);氣相物質(zhì)被吸附在固體表面;被吸附基團(tuán)與固體表面分子反應(yīng)生成產(chǎn)物分子;產(chǎn)物分子解析形成氣相;反應(yīng)殘余物脫離表面。
等離子清洗機(jī) 鄭州 科探KT-S2DQX
小型等離子清洗機(jī)具有成本低廉、操作靈活的特點(diǎn), 與動(dòng)輒十幾萬(wàn)美元的大型產(chǎn)品相比小型等離子清潔小型機(jī)具有以下優(yōu)點(diǎn):
1、可以更靈活地操作,簡(jiǎn)便地改變處理氣體的種類(lèi)和處理程序。
2、不會(huì)對(duì)人員的身體造成任何傷害。
3、其成本對(duì)于等離子處理方法來(lái)說(shuō)是微不足道的。
等離子清洗機(jī) 鄭州 科探KT-S2DQX參數(shù)
供電電源 | AC220V(AC110V可選) |
工作電流 | 整機(jī)工作電流不大于3.5A(不含真空泵) |
射頻電源功率 | 150W |
射頻頻率 | 13.56MHz |
頻率偏移量 | <0.2MHz |
特性阻抗 | 50歐姆,手動(dòng)匹配 |
耦合方式 | 電容耦合 |
真空度 | ≤100Pa |
腔體材質(zhì) | 高純石英 |
腔體容積 | 2L(內(nèi)徑110MMX深度220MM) |
觀察窗內(nèi)徑 | Φ65 |
氣體流量 | 10—100ml/min(其他量程可選) |
過(guò)程控制 | 過(guò)程手動(dòng)控制 |
清洗時(shí)間 | 手動(dòng)開(kāi)關(guān) |
開(kāi)蓋方式 | 鉸鏈側(cè)開(kāi)式法蘭 |
外形尺寸 | 400x380x360mm |
重量 | 23Kg |
真空室溫度 | 小于65°C |
冷卻方式 | 強(qiáng)制風(fēng)冷 |
標(biāo)配 | KF16真空管1米,kf16卡箍2個(gè),不銹鋼網(wǎng)匣1個(gè),電源線(xiàn)一根,說(shuō)明書(shū)一本。 |