一、基于真空探針臺(tái)的紅外探測(cè)器自動(dòng)測(cè)試系統(tǒng)的研究:
(1)半導(dǎo)體制冷臺(tái) 一英寸測(cè)試臺(tái)硬件測(cè)試電路的設(shè)計(jì):該部分主要為芯片的測(cè)試提供驅(qū)動(dòng)電壓和時(shí)序激勵(lì),同時(shí)完成像元響應(yīng)電壓信號(hào)的采集與處理,同時(shí)在數(shù)據(jù)采集部分設(shè)計(jì)有單端轉(zhuǎn)差分網(wǎng)絡(luò),消除共模噪聲的同時(shí)還可以增強(qiáng)模擬電壓信號(hào)的驅(qū)動(dòng)能力。
(2)真空探針臺(tái)探針卡的設(shè)計(jì):對(duì)于不同陣列的探測(cè)器芯片,本文中設(shè)計(jì)有與之相對(duì)應(yīng)的測(cè)試探針卡,同時(shí)將偏置電壓的產(chǎn)生電路直接集成于測(cè)試探針卡上,偏置電壓可通過探針直接偏置到芯片上,避免模擬信號(hào)傳輸過程中受到的干擾。
(3)測(cè)試系統(tǒng)自動(dòng)控制的實(shí)現(xiàn):本設(shè)計(jì)基于VC++的開發(fā)平臺(tái),通過RS232協(xié)議控制真空探針臺(tái)和基于FPGA的測(cè)試電路模塊,并使用Matlab完成測(cè)試數(shù)據(jù)的處理和分析,終實(shí)現(xiàn)對(duì)320×240和384×288系列芯片的自動(dòng)選片測(cè)試。該自動(dòng)測(cè)試系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)了對(duì)非制冷紅外探測(cè)器芯片晶圓和單片的自動(dòng)測(cè)試,通過響應(yīng)率、噪聲等相關(guān)參數(shù)的測(cè)試結(jié)果完成對(duì)被測(cè)芯片整體性能的評(píng)估,并將測(cè)試結(jié)果以測(cè)試報(bào)告和wafermap的形式展示出來。此測(cè)試結(jié)果作為封裝之前芯片選片的重要依據(jù),極大的縮小了紅外探測(cè)器的測(cè)試時(shí)間和封裝成本。
二、發(fā)展背景:
(1)公司以科技創(chuàng)新為主,服務(wù)社會(huì)為宗旨,積極設(shè)計(jì)開發(fā)新型材料制備設(shè)備,奉獻(xiàn)于教育和科學(xué),經(jīng)過長(zhǎng)期的研發(fā)和不斷地技術(shù)積累,擁有熱工,制造,控制相關(guān),為化學(xué),物理,材料,電子,高分子工程,新材料制備和研發(fā)領(lǐng)域的科學(xué)研究提供了精良設(shè)備。
(2)公司通過和院校老師同學(xué)強(qiáng)強(qiáng)聯(lián)合,形成了有效的信息,技術(shù)交流平臺(tái),為科探儀器了解市場(chǎng)需求提供了強(qiáng)有力的支持!
(3)目前公司已研發(fā)生產(chǎn)產(chǎn)品十多個(gè)系列幾十款產(chǎn)品,產(chǎn)品囊括實(shí)驗(yàn)電爐、半導(dǎo)體制冷臺(tái) 一英寸測(cè)試臺(tái)CVD供氣系統(tǒng)、等離子清洗機(jī)、小型離子濺射儀、小型蒸鍍儀等,主要適用于科研院校及工礦企業(yè)在新材料、新能源等領(lǐng)域物理特性及化學(xué)特性的研究,廣銷于各大院校,及材料研究所。
三、應(yīng)用領(lǐng)域:公司與國(guó)內(nèi)高校,科研院所有多層次的合作關(guān)系,建有開放實(shí)驗(yàn)室,相關(guān)領(lǐng)域的教授、高級(jí)工程師、博士參與公司產(chǎn)品的研究和開發(fā)。我們秉承公司的發(fā)展理念,依靠嚴(yán)謹(jǐn)?shù)募夹g(shù)研發(fā)能力,科學(xué)合理的生產(chǎn)工藝,精益求精的制造要求,全心全意做好產(chǎn)品質(zhì)量和服務(wù)工作,科探儀器時(shí)刻懷著一顆真誠(chéng)的心期待與您的合作。
溫控器 | |
加熱溫度 | 35-400℃ 注意:熱臺(tái)溫度和樣品溫度存在偏差 客戶可用PT100熱電阻貼在和樣品接近的樣品臺(tái)面測(cè)量熱電阻值對(duì)應(yīng)分度值做校準(zhǔn)。 |
溫控誤差 | ±1℃ |
熱電偶類型 | PT100高精度傳感器 |
溫控表 | 宇電PID溫控器 |
程序控溫 | 1段(可選30段程序控溫表) |
加熱功率 | ≤300W |
加熱電源 | AC220v |
尺寸 | 230x230x125MM |
重量 | 6kg |
真空探針熱臺(tái) | |
腔體材質(zhì) | 304不銹鋼 |
加工方式 | 一體式CNC精加工 |
內(nèi)腔體尺寸 | 137X57X21mm 容積165ML |
加熱臺(tái)尺寸 | Φ35mm |
觀察窗內(nèi)徑 | Φ45mm |
觀察窗材質(zhì) | 高透光石英玻璃 |
信號(hào)輸出頭 | SMA母頭 配線 SMA轉(zhuǎn)BNC 1.5米 |
電學(xué)性能 | 絕緣電阻 ≥4000MΩ 介質(zhì)耐壓 ≤500V |
抽氣口 | KF16 |
進(jìn)氣口 | 6MM卡套 |
使用正壓 | ≤O.05MPa |
使用負(fù)壓 | 機(jī)械泵可獲得真空≤10Pa 分子泵可獲得真空≤10 -3 Pa |
可擴(kuò)展配件 | 氣體液體注射口 4芯電信號(hào)接頭 8芯電信號(hào)接頭 SMA905 光纖接口 擴(kuò)展5KV高壓電極 升級(jí)30段控溫儀表 |
移動(dòng)探針 | |
探針規(guī)格 | 探針粗Φ0.5mm 探針尖 10μm |
上下移動(dòng)距離 | 2.5mm |
前后移動(dòng)距離 | ±10mm |
左右旋轉(zhuǎn)距離 | 120° |