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微機(jī)控制靜電吸盤測試臺(tái)

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  • 公司名稱濟(jì)南信標(biāo)自動(dòng)化設(shè)備有限公司
  • 品       牌
  • 型       號(hào)
  • 所  在  地
  • 廠商性質(zhì)經(jīng)銷商
  • 更新時(shí)間2024/4/27 7:54:49
  • 訪問次數(shù)58
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濟(jì)南信標(biāo)自動(dòng)化設(shè)備有限公司是專業(yè)生產(chǎn)動(dòng)、靜態(tài)材料試驗(yàn)機(jī)和提供各類力學(xué)測試系統(tǒng)的新技術(shù)企業(yè)。是國內(nèi)民營試驗(yàn)機(jī)行業(yè)的翹楚企業(yè)。公司總部位于中國北京,下設(shè)廣州分公司和濟(jì)南分公司,

濟(jì)南信標(biāo)自動(dòng)化設(shè)備有限公司是國內(nèi)生產(chǎn)材料試驗(yàn)機(jī)的先導(dǎo)企業(yè),是集科研、開發(fā)、生產(chǎn)、服務(wù)為一體的技術(shù)密集型企業(yè)。擁有以中科院院士、材料學(xué)家教授為總顧問的技術(shù)隊(duì)伍,公司共有員工70多人,其中中高級(jí)技術(shù)人員16人,享受國家技術(shù)津貼的試驗(yàn)機(jī)專家2人,從事材料試驗(yàn)機(jī)研制生產(chǎn)20年以上的高級(jí)工程師10多人。是國內(nèi)同行業(yè)中技術(shù)力量最雄厚,創(chuàng)新能力較強(qiáng)的企業(yè)。


濟(jì)南信標(biāo)自動(dòng)化設(shè)備有限公司通過發(fā)展,已經(jīng)形成集團(tuán)化經(jīng)營模式,下設(shè)“電子試驗(yàn)機(jī)公司、液壓疲勞試驗(yàn)機(jī)公司、專用試驗(yàn)機(jī)公司”三個(gè)專業(yè)產(chǎn)品公司以及“軟件公司、用戶服務(wù)中心、材料檢測及試驗(yàn)機(jī)技術(shù)研究所”。濟(jì)南信標(biāo)自動(dòng)化設(shè)備有限公司專注于新型材料試驗(yàn)機(jī)的研制、材料檢測技術(shù)的提高以及材料試驗(yàn)方法的創(chuàng)新,通過刻苦的鉆研與發(fā)展,,成為國內(nèi)能夠全面提供材料試驗(yàn)技術(shù)和試驗(yàn)機(jī)制造的企業(yè),“Beacon Auto”成為從技術(shù)能力等各方面能試驗(yàn)機(jī)公司抗衡的國產(chǎn)試驗(yàn)機(jī)品牌。

濟(jì)南信標(biāo)自動(dòng)化設(shè)備有限公司產(chǎn)品分為動(dòng)態(tài)疲勞試驗(yàn)機(jī)、專用試驗(yàn)機(jī)及靜態(tài)電子式試驗(yàn)機(jī)、液壓式試驗(yàn)機(jī)兩大類別,包括微機(jī)控制電液伺服疲勞試驗(yàn)機(jī)、多通道協(xié)調(diào)加載試驗(yàn)系統(tǒng)、擬動(dòng)力(靜力)加載試驗(yàn)系統(tǒng)、汽車零部件試驗(yàn)臺(tái)、電液伺服腐蝕疲勞試驗(yàn)機(jī)、電液伺服拉扭疲勞試驗(yàn)機(jī)、高頻疲勞試驗(yàn)機(jī)、電子式疲勞試驗(yàn)機(jī)、微機(jī)控制電子試驗(yàn)機(jī)、微機(jī)控制液壓試驗(yàn)機(jī)、電液伺服巖石三軸試驗(yàn)機(jī)、微機(jī)控制臥式拉力試驗(yàn)機(jī)、微機(jī)控制高溫蠕變持久試驗(yàn)機(jī)、微機(jī)控制應(yīng)力松馳試驗(yàn)機(jī)、微機(jī)控制全自動(dòng)扭轉(zhuǎn)試驗(yàn)機(jī)、微機(jī)控制全自動(dòng)杯突試驗(yàn)機(jī)、扭拉摩擦試驗(yàn)機(jī)、沖擊試驗(yàn)機(jī)、專用試驗(yàn)機(jī)等10多大系列200多個(gè)品種。廣泛應(yīng)用于航天航空、車輛制造、土木工程、核能、冶金、家電、建材、包裝等行業(yè)以及質(zhì)檢、科研、教學(xué)等領(lǐng)域?qū)饘佟⒔Y(jié)構(gòu)件、零部件、塑料、橡膠、薄膜、土工布、紗線、纖維、紙張、電線電纜、彈簧、鋁塑復(fù)合管、人造大理石、水泥、包裝材料、膠帶等進(jìn)行循環(huán)、疲勞、振動(dòng)、松馳、蠕變、拉伸、壓縮、彎曲、撕裂、剝離、剪切、穿刺、頂破、扭轉(zhuǎn)、杯突等力學(xué)性能測試和分析。



蠕變持久試驗(yàn)機(jī)、人造板試驗(yàn)機(jī)、醫(yī)用接骨板彎曲試驗(yàn)機(jī)、抗壓抗折一體機(jī)
微機(jī)控制靜電吸盤測試臺(tái)一基本功能:靜電吸盤的吸附原理主要基于靜電吸附
微機(jī)控制靜電吸盤測試臺(tái) 產(chǎn)品信息

微機(jī)控制靜電吸盤測試臺(tái)

基本功能:

靜電吸盤的吸附原理主要基于靜電吸附。在沒有等離子體的環(huán)境下,當(dāng)直流電極接通到高壓(低流)直流電源后,電介質(zhì)的表面會(huì)產(chǎn)生極化電荷。對(duì)于庫侖吸盤吸盤不同種類中的一種而言,這會(huì)導(dǎo)致電介質(zhì)表面出現(xiàn)極化電荷。而對(duì)于JR吸盤,除了極化電荷外,還有一部分自由電荷,因?yàn)檫@類吸盤的電介質(zhì)具有一定的導(dǎo)電性。這些表面電荷會(huì)產(chǎn)生電場,該電場進(jìn)一步在置于吸盤之上的晶片表面產(chǎn)生極化電荷,這些電荷的分布與吸盤上的電荷極性相反。當(dāng)晶片背面分布的電荷與吸盤上相反時(shí),晶片就被吸盤吸附住了。靜電吸盤通過施加外部高壓,利用靜電吸附力或J-R吸附力來固定硅片。這種吸附力使得硅片能夠被穩(wěn)定地固定在吸盤上,以滿足半導(dǎo)體制造等領(lǐng)域的應(yīng)用需求

為了保證晶圓不與吸盤接觸, 吸盤表面均布氦氣孔, 用于生產(chǎn)氣墊拖住晶圓 , 使之與電極產(chǎn)生的吸力平衡

測試原理:

微機(jī)控制靜電吸盤測試臺(tái)配置不同規(guī)格晶圓尺寸的被動(dòng)吸盤, 吸盤背面預(yù)留對(duì)應(yīng)出氣孔位置的氣體接口, 每個(gè)接口用于連接對(duì)應(yīng)的壓力和流量傳感器, 最多預(yù)留16路接口, 16路的壓力和流量對(duì)應(yīng)顯示在計(jì)算機(jī)上,

被動(dòng)吸盤整體與測力傳感器連接, 當(dāng)靜電吸盤工作時(shí), 可以測試不同電壓下和不同的氣體流量壓力時(shí) 實(shí)時(shí)對(duì)外輸出的力, 可以校正不同電壓時(shí),對(duì)應(yīng)不同的氣體流量,分別輸出的實(shí)際吸力,并且實(shí)時(shí)顯示每一路氣體的壓力流量, 用于校正晶圓整體受力是否均勻。

1靜電吸盤測試臺(tái)4.png

微機(jī)控制靜電吸盤測試臺(tái)基本參數(shù)

1. 吸附力:500N

2. 力值精度:±0.5%

3. 適配晶圓規(guī)格:10/8/5

4. 傳感器壓力范圍:0.1-50torr

5. 傳感器流量范圍:0.1-500sccm

6. 傳感器精度:±1%

7. 傳感器供電:24V

8. 系統(tǒng)耐壓等級(jí):1000V

9. 外形尺寸:1200*950*1650

10. 整機(jī)功率:2kw

11. 整機(jī)重量:260kg

微機(jī)控制靜電吸盤測試臺(tái)基本配置:

1. 鋁合金臺(tái)架        一套

2. 大理石臺(tái)面        一套

3. 垂向移動(dòng)滑臺(tái)      一套

4. 吸盤安裝座        一套

5. 被動(dòng)吸盤          一套

6. 氣體轉(zhuǎn)接板        一套

7. 壓力傳感器        16

8. 流量傳感器        16

9. 通訊轉(zhuǎn)換器        1臺(tái)(35路)

10. 計(jì)算機(jī)及軟件     一套

11. 隨機(jī)工具         一套

12. 防靜電腳墊       若干

13. 防靜電手環(huán)        2

標(biāo)簽:微機(jī)控制靜電吸盤測試臺(tái)

 


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