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ELIONIX電子束光刻系統(tǒng)ELS-HAYATE

參考價面議
具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱天津瑞利光電科技有限公司
  • 品       牌
  • 型       號ELS-HAYATE
  • 所  在  地
  • 廠商性質(zhì)其他
  • 更新時間2024/4/30 8:38:32
  • 訪問次數(shù)57
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天津瑞利光電科技有限公司成立于2016年,公司專注于引進國外前沿光電技術(shù)及*光電產(chǎn)品,為國內(nèi)科學(xué)研究與工業(yè)應(yīng)用提供優(yōu)質(zhì)的產(chǎn)品和技術(shù)服務(wù)。目前,瑞利光電已與來自歐洲、美國、以色列、日本等地的多家光電產(chǎn)品生產(chǎn)廠家建立了密切的合作關(guān)系,產(chǎn)品包括各類激光器、激光加工機器、光學(xué)檢測設(shè)備、光學(xué)測量與分析儀器、精密定位及光學(xué)平臺、光學(xué)元件等。我們擁有一支成熟的專業(yè)化團隊,相關(guān)人員知識經(jīng)驗豐富,近年來,得益于人才隊伍建設(shè)和科學(xué)管理實踐,我們的技術(shù)服務(wù)水平和業(yè)務(wù)拓展能力日益精進,與多個高校和科研機構(gòu)的合作伙伴關(guān)系不斷深化,公司規(guī)模和業(yè)務(wù)范圍持續(xù)擴大,公司競爭力顯著增強,在太陽能、半導(dǎo)體、生物醫(yī)療、材料加工、光通訊、國防工業(yè)、科學(xué)研究等各類*制造與科研領(lǐng)域創(chuàng)造了大量的業(yè)績,為客戶輸送了眾多高技術(shù)含量、高質(zhì)量、高精度、高可靠性、高穩(wěn)定性的產(chǎn)品,同時提供了安裝、調(diào)試、培訓(xùn)、方案研究、集成開發(fā)等綜合技術(shù)服務(wù),因此,瑞利也得到了來自全國客戶的廣泛贊譽和認(rèn)可。光電科技領(lǐng)域的*技術(shù)和產(chǎn)品對推動我國工業(yè)發(fā)展和提升科研實力起到了至關(guān)重要的作用。瑞利光電始終以“引進高、精、尖技術(shù)和產(chǎn)品,助力中國實現(xiàn)強國夢”為使命。我們奉行信義為根,嚴(yán)謹(jǐn)為本,精益求精,行思行遠(yuǎn)的經(jīng)營宗旨,力求通過自身的創(chuàng)新發(fā)展為客戶持續(xù)創(chuàng)造價值,為產(chǎn)業(yè)升級,科技強國貢獻力量。
產(chǎn)品介紹ELS-HAYATE能夠在數(shù)小時內(nèi)制造出完整的8英寸晶圓尺寸的壓印模具
ELIONIX電子束光刻系統(tǒng)ELS-HAYATE 產(chǎn)品信息
產(chǎn)品介紹

ELS-HAYATE能夠在數(shù)小時內(nèi)制造出完整的8英寸晶圓尺寸的壓印模具。ELS-HAYATE非常適合需要高吞吐量和超細(xì)圖案分辨率的大型制造寫入場。

性能特點
  • 可實現(xiàn)字段大小5mm的統(tǒng)一繪制
  • 實現(xiàn)了業(yè)界的5毫米偏轉(zhuǎn)。因為可以統(tǒng)一繪制的區(qū)域變大,因此它非常適合在意字段間連接誤差的應(yīng)用程序。此外,由于樣品表面內(nèi)的載物臺移動次數(shù)也減少,高吞吐量的微細(xì)加工也能起到作用。
  • 采用大電流電子光學(xué)系統(tǒng)
  • 配備高電流電子光學(xué)系統(tǒng),可以實現(xiàn)超出電子束光刻常識的高通量微制造。以前通過激光光刻或光刻產(chǎn)生的微米到毫米量級的圖案,現(xiàn)在可以高質(zhì)量曝光。
  • 400MHz生產(chǎn)用高速掃描時鐘
  • 當(dāng)在高電流下進行光刻時,須將光斑間距設(shè)置得較寬,以平衡小劑量時間和良好劑量。
技術(shù)參數(shù)
  • 產(chǎn)地:日本
  • 加速電壓:50 kV
  • 束流:1 nA~800 nA
  • 最小光束直徑:D 10 nm
  • 標(biāo)準(zhǔn)場尺寸:5000μm
  • 最小/字段大?。?/li>
  • 最小1000μm
  • 5000μm
  • 掃描時鐘:400MHz
  • 最小發(fā)射間距:最小1.0nm
  • 樣品尺寸:8“晶圓/12”晶圓
  • 曝光F/S:200毫米x 200毫米/300毫米x 300毫米
  • 加載機制:
  • 單臺自動裝載機
  • 多功能自動裝載機
  • 機器人裝載機
產(chǎn)品參數(shù)
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