FFU(Fan Filter Unit)是風(fēng)機(jī)和過(guò)濾器的組合,也可稱為“自帶風(fēng)機(jī)的過(guò)濾設(shè)備”。
FFU通常安裝在潔凈室的送風(fēng)末端,一般放置在吊裝的“干式”墊片密封龍骨框架上。
FFU上面部分為風(fēng)機(jī)模塊,下面部分為過(guò)濾器。根據(jù)潔凈度的要求,過(guò)濾器可為不同等級(jí)的高效(HEPA)或超高效(ULPA)過(guò)濾器,為潔凈室提供潔凈空氣。
風(fēng)機(jī)模塊除了要克服FFU下部高效過(guò)濾器的阻力,還要克服整個(gè)循環(huán)風(fēng)所有通道部件的阻力,從而維持設(shè)定的運(yùn)行風(fēng)速。FFU系統(tǒng)具有設(shè)計(jì)施工簡(jiǎn)便,風(fēng)速調(diào)節(jié)靈活,潔凈區(qū)易于變更等特點(diǎn),因此已成為工業(yè)潔凈室的流行系統(tǒng)形式之一。
FFU具有特點(diǎn):
*:靈活性。因?yàn)镕FU是自帶動(dòng)力的,它不受區(qū)域的限制。在一個(gè)偌大的潔凈廠房里,可根據(jù)需要,分區(qū)控制。而且,隨著半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝的變化,廠房布局必然要作相應(yīng)調(diào)整,F(xiàn)FU的靈活性使得這樣的調(diào)整變得輕松,而且不會(huì)帶來(lái)二次投資。
第二:可再利用性。從理論上講,一時(shí)不用的FFU設(shè)備,可以拆下來(lái),密封好,妥善保管,留待下次使用。
第三:負(fù)壓通風(fēng)。這是FFU的特點(diǎn)。由于它本身能夠提供靜壓,使得送風(fēng)靜壓箱相對(duì)于潔凈廠房負(fù)壓。這樣,靜壓箱內(nèi)的顆粒就不會(huì)受到壓力的作用泄漏到潔凈區(qū)里,使得密封變得很簡(jiǎn)單而且安全。
第四:縮短建設(shè)周期。使用FFU省掉了風(fēng)管的制作和安裝,因?yàn)轱L(fēng)管在潔凈工程中,占掉很大的建設(shè)周期,任何一個(gè)投資者都希望投資能盡快帶來(lái)收益,選用FFU成為了一種可能。
第五:減少運(yùn)行成本。雖然在選用FFU時(shí),初期投資要比使用風(fēng)管通風(fēng)高,但它在后期運(yùn)行中,突出的表現(xiàn)出節(jié)能、免維護(hù)等特點(diǎn)。用在循環(huán)減少40%的運(yùn)行成本。
FFU組合的關(guān)鍵性能參數(shù):
模數(shù)尺寸(ceiling modular size):安裝吊頂龍骨中心線的間距,F(xiàn)FU常用的標(biāo)準(zhǔn)模數(shù)尺寸為1200X600(4’X2’),1200X900(4’X3’),1200X1200(4’X4’)。
實(shí)際尺寸(actual size):廈門(mén)大吉利的FFU過(guò)濾器的實(shí)際尺寸=模數(shù)尺寸-(龍骨斷面寬度-25mm),風(fēng)機(jī)模塊的實(shí)際尺寸比過(guò)濾器稍大4mm。比如說(shuō)常用的吊頂龍骨端面寬度為55mm,模數(shù)尺寸為1200,900,600所對(duì)應(yīng)的FFU過(guò)濾器實(shí)際尺寸為1170,870,570,風(fēng)機(jī)模塊的實(shí)際尺寸為1174,874,574。
機(jī)外余壓(ESP):在某一設(shè)定風(fēng)速下,風(fēng)機(jī)模塊的總靜壓(TSP)扣除HEPA/ULPA過(guò)濾器的阻力,即為機(jī)外余壓(ESP),單位是Pa。ESP是指FFU整機(jī)能克服潔凈室循環(huán)風(fēng)阻力的能力,無(wú)論是標(biāo)注FFU機(jī)外余壓或風(fēng)機(jī)模塊的總靜壓TSP,都必需指名送風(fēng)風(fēng)速或風(fēng)量,否則沒(méi)有意義。
輸入能耗(input power consumption):FFU正常運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)輸入電壓和輸入電流的乘積,單位是W。顯然,F(xiàn)FU在不同的運(yùn)行工況點(diǎn),即在不同的運(yùn)行風(fēng)量和總靜壓時(shí),輸入能耗不同。因此,如果不指明運(yùn)行工況點(diǎn),輸入能耗值沒(méi)有意義。
單體噪音(noise level):根據(jù)標(biāo)準(zhǔn)IES-RP-CC002,F(xiàn)FU正常運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)在距離出風(fēng)面中心正下方1.2mm處的噪音值,單位是dB(A)。FFU在不同的運(yùn)行工況點(diǎn),即在不同的運(yùn)行風(fēng)量和總靜壓時(shí),噪音不同。因此,如果不指明運(yùn)行工況點(diǎn),噪音值沒(méi)有意義。
微振(micro vibration):根據(jù)標(biāo)準(zhǔn)IES-RP-CC002,F(xiàn)FU在*大運(yùn)轉(zhuǎn)工況點(diǎn)時(shí)的振動(dòng)幅度和振動(dòng)速率,單位分別是mm和mm/s。
送風(fēng)均勻度(air uniformity):根據(jù)標(biāo)準(zhǔn)IES-RP-CC002,F(xiàn)FU正常運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí),在距離出風(fēng)面上方150mm(6”)的水平面上測(cè)量逐點(diǎn)的風(fēng)速,得出平均風(fēng)速值。平均風(fēng)速與*大風(fēng)速和*小風(fēng)速的偏差比即為送風(fēng)均勻度,單位為+/-%。標(biāo)準(zhǔn)IES-RP-CC002中要求FFU的任一點(diǎn)的送風(fēng)風(fēng)速與其平均風(fēng)速的偏差均應(yīng)在+/-20%以內(nèi)。
過(guò)濾器效率等級(jí)(filter grade):依據(jù)歐洲標(biāo)準(zhǔn)EN1822,過(guò)濾器等級(jí)從H10-H14,U15-U17?;蛞罁?jù)美國(guó)標(biāo)準(zhǔn)MIL-282(HEPA),對(duì)于0.3um的效率值;依據(jù)美國(guó)標(biāo)準(zhǔn)IES-RP-CC007.1,對(duì)于0.12um的效率值。
一體式結(jié)構(gòu)圖: | 分體式結(jié)構(gòu)圖: |
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廈門(mén)大吉利的FFU的風(fēng)機(jī)模塊具有如下特點(diǎn):
性能可靠:采用國(guó)內(nèi)出口品牌的內(nèi)轉(zhuǎn)子馬達(dá)及直驅(qū)離心葉片和電氣元器件。
型號(hào)齊全:根據(jù)馬達(dá)有交流(AC)和無(wú)刷直流(EC);根據(jù)輸出靜壓有標(biāo)準(zhǔn)型和高靜壓型;根據(jù)模數(shù)尺寸有1200X600,1200X900,1200X1200,1500X750;根據(jù)箱體材質(zhì)有鋅鋁涂層鋼板(標(biāo)準(zhǔn)型)、不銹鋼型、鋁板。
優(yōu)異的出風(fēng)均勻度:達(dá)到并優(yōu)于國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)IES-RP-CC-002中的+/-20%的要求。
低噪音:科學(xué)的馬達(dá)風(fēng)機(jī)選型和轉(zhuǎn)速設(shè)計(jì)、的導(dǎo)流和消音材料的應(yīng)用、合理的箱體尺寸設(shè)計(jì),使廈門(mén)大吉利FFU的噪音水平低于同類產(chǎn)品。
低微振:總振動(dòng)速率均小于1mm/s,振幅不超過(guò)4um低能耗和低散熱量,的風(fēng)機(jī)品質(zhì)和動(dòng)平衡設(shè)計(jì),以及箱體本身的零壓損,使廈門(mén)大吉利FFU在同樣的輸出工況時(shí)運(yùn)行能耗和散熱量低于同類產(chǎn)品。
靈活的控制方式:AC型可采用單立調(diào)速器或分組變壓式調(diào)速器,并兼有報(bào)警指示功能。
主要技術(shù)參數(shù):
型號(hào) | DJL-FFU-2×2 | DJL-FFU-2×3 | DJL-FFU-2×4 | DJL-FFU-3×4 | DJL-FFU-3×4 | DJL-FFU-4×4 |
外型尺寸(mm)(WXDXH) | 575×575×320 | 575×875×320 | 575×1175×320 | 875×875×320 | 875×1175×320 | 1175×1175×320 |
面風(fēng)速 | 0.45±20% | |||||
噪音dB(A)(風(fēng)速0.45m/s, 距出風(fēng)面0.5m) | 48 | 48 | 48 | 48 | 52 | 52 |
HEPA過(guò)濾效率 | ≥99.99%@0.3um | |||||
HEPA規(guī)格 | 570×870×90 | 570×870×90 | 570×870×90 | 570×870×90 | 870×1170×90 | 870×1170×90 |
電源 | AC單相,220V/50Hz | |||||
功耗(W)(風(fēng)速0.45m/s) | 120 | 125 | 140 | 180 | 240 | 280 |
機(jī)外余壓(Pa) | 50~130 | |||||
振動(dòng) | ≤4um | |||||
箱體材質(zhì) | 鍍鋁鋅板/不銹鋼/鋁板/冷板 |
注:本公司產(chǎn)品不斷改進(jìn),其中一些性能參數(shù)可能會(huì)進(jìn)行修改,恕不另行通知
FFU集中監(jiān)控系統(tǒng)
FFU作為一種凈化設(shè)備,目前在各種潔凈工程中得到廣泛應(yīng)用。FFU集中監(jiān)控系統(tǒng)則是把幾十、幾百乃至上千個(gè)FFU通過(guò)FFU監(jiān)控主機(jī)將其聯(lián)接起來(lái)并進(jìn)行監(jiān)控,并可以上傳至電腦中,由電腦系統(tǒng)方便地實(shí)現(xiàn)風(fēng)機(jī)分區(qū)啟停、故障報(bào)警、歷史記錄等功能。當(dāng)計(jì)算機(jī)關(guān)機(jī)時(shí),監(jiān)控主機(jī)可以獨(dú)立進(jìn)行24小時(shí)監(jiān)控。
由于本系統(tǒng)針對(duì)FFU功率小但臺(tái)數(shù)多場(chǎng)合,故采用計(jì)算機(jī)集中監(jiān)控以方便操作,系統(tǒng)包括以下四部分內(nèi)容:
·一拖二智能單元(采用電容、變壓器調(diào)壓式或電機(jī)抽頭式調(diào)速)
·32路集線器
·FFU控制主機(jī)
·計(jì)算機(jī)集中監(jiān)控系統(tǒng)
·低壓控制柜
控制系統(tǒng)圖如下圖: | 系統(tǒng)特點(diǎn): 控制系統(tǒng)還能夠?qū)崿F(xiàn)如下功能: ·交流調(diào)壓方式控制系統(tǒng)能夠保證正常使用條件下長(zhǎng)時(shí)間連續(xù)運(yùn)行; ·整套控制系統(tǒng)布局合理、接線簡(jiǎn)單; ·在滿足潔凈要求的前提下,可根據(jù)實(shí)際情況設(shè)定風(fēng)速轉(zhuǎn)速,*大限度降低風(fēng)機(jī)功耗,達(dá)到節(jié)能目的; ·對(duì)風(fēng)機(jī)轉(zhuǎn)速進(jìn)行工作/值班控制,在非工作時(shí)間內(nèi),自動(dòng)降低風(fēng)機(jī)轉(zhuǎn)速維持室內(nèi)潔凈要求,達(dá)到節(jié)能目的。 |