產(chǎn)品介紹
35年來(lái),我們一直在為光學(xué)涂層和等離子體蝕刻行業(yè)開(kāi)發(fā)現(xiàn)場(chǎng)監(jiān)測(cè)和控制儀器。Intellemetrics推出了一系列晶圓視覺(jué)系統(tǒng),專門設(shè)計(jì)用于在負(fù)載鎖定真空蝕刻和沉積室內(nèi)觀察圖案化晶圓,以檢查是否已加載正確的晶圓,并確認(rèn)相對(duì)于掩模圖案的對(duì)齊和放置。圖像分辨率取決于工作距離和視場(chǎng),但通常在5mm的工作距離(適用于ICP蝕刻和沉積室)和600mm視場(chǎng)下可以獲得7μm的分辨率。
性能特點(diǎn)
- 5 M 像素高分辨率相機(jī)圖像
- 共線晶圓照明
- 成像距離從100mm到1000mm
- 可見(jiàn)特征尺寸低至 5um
- 手動(dòng)和電動(dòng)對(duì)焦選項(xiàng)
技術(shù)參數(shù)
- 產(chǎn)地:英國(guó)
- 攝像頭:
- 傳感器類型:CMOS
- 傳感器尺寸:5像素,2560 x 1920像素
- 像素大小:2.2um
- 電源要求:
- 接口:GigE
- 電源:12至24 Vdc
- 功耗:3.5W
- 是否進(jìn)口:是
- 封裝:廠家制定
- 性能:良好
- 可靠性:高
產(chǎn)品參數(shù)