M-2000系列橢圓偏振儀專為滿足薄膜表征的各種需求而設(shè)計。的光學(xué)設(shè)計、寬光譜范圍和快速數(shù)據(jù)采集結(jié)合在一個極其強大和多功能的工具中。M-2000 兼具速度和準確性。我們獲得的 RCE 技術(shù)將旋轉(zhuǎn)補償器橢圓偏光儀與高速 CCD 檢測相結(jié)合,可在幾分之一秒內(nèi)通過各種配置收集整個光譜(數(shù)百個波長)。M-2000 是一款擅長從現(xiàn)場監(jiān)測和過程控制到大面積均勻性映射和通用薄膜表征的所有方面的橢圓儀。沒有其他橢圓儀技術(shù)能夠更快地獲取全光譜。
◆的橢圓儀技術(shù)
M-2000 利用我們獲得的 RCE(旋轉(zhuǎn)補償器橢偏儀)技術(shù)來實現(xiàn)高精度。
◆快速光譜檢測
RCE 設(shè)計與的、經(jīng)過驗證的 CCD 檢測兼容,可同時測量所有波長。
◆寬光譜范圍
收集從紫外線到近紅外的 700 多種波長——全部同時進行。
◆靈活的系統(tǒng)集成
M-2000 采用模塊化光學(xué)設(shè)計,適合直接連接到您的處理室或配置在我們的任何桌面底座上。
◆準確性
的設(shè)計可確保對任何樣品進行準確的橢圓偏光測量。
◆光譜范圍
D:193-1000 nm
X-210:210-1000 nm
X:245-1000 nm
U:245-1000 nm
V:370-1000 nm
+I:增加 1000-1690 nm
◆波長數(shù)
D:500個波長
X-210:485個波長
X:470個波長
U:470個波長
V:390個波長
+I:增加190個波長
◆探測器:感光元件
◆入射角
45°-90°(自動角度底座)
20°-90°(立式自動角度底座)
65°(固定角度底座)
65°(測試底座)
◆數(shù)據(jù)采集率(完整頻譜):0.05 秒(典型值為 2-5 秒)
◆max基材厚度 :18mm
◆電源要求:100/240 伏交流電,47-63 赫茲,<1 安培
◆產(chǎn)地:美國
M-2000是一款多功能的光譜橢偏儀,適用于多種不同的樣品類型。涂層可以是電介質(zhì)、有機物、半導(dǎo)體,甚至是薄金屬。
◆光學(xué)鍍膜
◆化學(xué)/生物學(xué)
◆導(dǎo)電有機物
◆半導(dǎo)體
◆光伏
◆原位