產(chǎn)品介紹
MProbe Vis薄膜測(cè)量系統(tǒng)是緊湊且多功能的臺(tái)式系統(tǒng)。它可以測(cè)量不同基板上10nm – 150μm厚度范圍的半透明薄膜。而且，它經(jīng)濟(jì)且易于使用。MProbe Vis（X） 的生產(chǎn)版本設(shè)計(jì)用于承受振動(dòng)并使用 LAN 連接 24/7 全天運(yùn)行。它可用于在線和OEM應(yīng)用。它與潔凈室環(huán)境兼容。MProbe20 VisX系統(tǒng)是MProbe20 Vis系統(tǒng)的一個(gè)版本，在更長的波長（>700nm）下具有更高的靈敏度。
性能特點(diǎn)
- 經(jīng)濟(jì)且易于使用
技術(shù)參數(shù)
- 產(chǎn)地：美國
- 波長范圍（可用）：400-1000nm（典型校準(zhǔn)范圍：380-1050nm）和VisX的450nm -1050nm
- 波長分辨率：< 1nm，20μm狹縫（整個(gè)光譜均勻）
- 厚度范圍 ： 10nm – 150 μm
- 精度/重復(fù)性：<0.01nm 或 0.02%
- 精度：<1nm或0.2%
- 測(cè)量光斑尺寸：< 1mm（標(biāo)準(zhǔn)）
- 最小數(shù)據(jù)采集時(shí)間：10 μs
- 光源：5W TH燈，使用壽命10000小時(shí)（可選：20W TH燈，使用壽命2000小時(shí)）
- 通信接口：USB和1Gb LAN
產(chǎn)品參數(shù)
