產(chǎn)生力達600 N
保持力至800 N
行程20 mm
集成式直接測量線性編碼器,分辨率為5 nm
使用增量線性編碼器進行高精度位置測量
非接觸式光學(xué)編碼器可以高精度直接在平臺上測量位置。非線性,機械游隙或彈性變形對測量沒有影響。
PiezoWalk行進驅(qū)動器具有納米級精度和高進給力
多個壓電執(zhí)行器在PiezoWalk行進驅(qū)動器中執(zhí)行行進運動,從而導(dǎo)致行進向前進給。致動器的控制允許更小的步進和正向進給運動,分辨率遠低于1納米。
適用于復(fù)雜的真空應(yīng)用
PI的壓電電機可以設(shè)計用于真空環(huán)境,適合在強磁場中運行。為此可以使用特殊版本的驅(qū)動器。PiezoWalk驅(qū)動器還可用于無塵室或紫外線強烈的環(huán)境中。
行程范圍:20 mm
模擬模式下的行程范圍:±3 µm
集成傳感器:無
分辨率,開環(huán):0.03 nm
分辨率,閉環(huán):-/ 5 nm(N-216.1A1)
速度(10%占空比,全步模式):max.1.0 mm/s
速度(100%占空比,全步模式):max.0.6 mm/s
驅(qū)動力(有效):max.300 N
保持力(被動):min.400 N
馬達類型:NEXLINE
工作電壓:-250 V至+250 V
工作溫度范圍:0至55°C
材質(zhì):鋁,不銹鋼
電纜長度:2.0 m
連接器:D-sub 25(m)
重量:1150 g