壓電驅(qū)動(dòng)納米位移臺(tái),使用壓電陶瓷作為運(yùn)動(dòng)促動(dòng)元件,可以在數(shù)百毫米范圍內(nèi)實(shí)現(xiàn)亞納米級(jí)別的最小步長(zhǎng),從而解決了傳統(tǒng)納米臺(tái)行程小而微米電動(dòng)臺(tái)分辯精度不高的問(wèn)題。在科研市場(chǎng)、半導(dǎo)體市場(chǎng)、制造業(yè)、生物醫(yī)藥行業(yè)、光學(xué)、通信等行業(yè)有廣泛應(yīng)用。
澤攸科技精密儀器研發(fā)團(tuán)隊(duì)自主研發(fā)的壓電驅(qū)動(dòng)納米位移臺(tái),具有運(yùn)動(dòng)無(wú)需潤(rùn)滑,真空兼容,可在從液氦溫區(qū)(-269攝氏度)至室溫的寬溫區(qū)內(nèi)工作等優(yōu)點(diǎn)。具有步進(jìn)和掃描雙工作模式,在宏觀行程范圍內(nèi)達(dá)到亞納米分辨率的定位。
線性壓電納米位移臺(tái)ML-37A,不僅擁有緊湊的安裝尺寸,同時(shí)還兼具低溫真空等應(yīng)用環(huán)境。是小空間內(nèi)大行程高精度的定位的優(yōu)先選擇產(chǎn)品。支持定制納米位移臺(tái)。
• 產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)
△ 結(jié)構(gòu)緊湊,高剛性
△ 零間隙,高精度柔性鉸鏈導(dǎo)向系統(tǒng)
△ 室溫到液氦工作溫度,超高真空兼容
△ 壓電陶瓷促進(jìn)器具有超長(zhǎng)使用壽命
△ 帶位移傳感器,提供位置和速度閉環(huán)控制
• 產(chǎn)品應(yīng)用
電子顯微鏡原位納米探針臺(tái),半導(dǎo)體芯片檢測(cè),光刻機(jī)工件臺(tái),微生物操縱手,光纖焊接,超精密組裝,精密檢測(cè)與測(cè)量。