MFC-UT系列質(zhì)量流量控制器(Mass Flow Controller)是基于業(yè)內(nèi)流量傳感器芯片,結(jié)合高速采樣處理技術(shù)和數(shù)字補(bǔ)償算法,所開(kāi)發(fā)的一款緊湊的氣體質(zhì)量流量控制器產(chǎn)品。該產(chǎn)品配備有電磁比例閥、316L不銹鋼氣路座、高精度微機(jī)電流量芯片等,對(duì)比傳統(tǒng)的氣體流量控制器,本產(chǎn)品采用集成化設(shè)計(jì),使得該產(chǎn)品的體積大幅度縮小到傳統(tǒng)產(chǎn)品的1/4,可以在小體積、便攜式設(shè)備中發(fā)揮更大優(yōu)勢(shì)。
產(chǎn)品應(yīng)用于:半導(dǎo)體加工、分析儀器、燃燒控制器、真空技術(shù)、表面處理、食品和制藥、化工(石化)等過(guò)程控制、氣體混合配比
產(chǎn)品特點(diǎn):
溫度和壓力不敏感
設(shè)計(jì)勁湊,可安裝任意位置
的零點(diǎn)穩(wěn)定性
超快的響應(yīng)速度
良好的重復(fù)性和再現(xiàn)性
采用液晶觸控顯示和控制
配備比例電磁閥