Zeta光學(xué)輪廓儀Zeta-600基礎(chǔ)參數(shù)
型號(hào)：Zeta-600
產(chǎn)品：光學(xué)輪廓儀/表面輪廓測(cè)試系統(tǒng)/LED pss 圖像處理設(shè)備
品牌：Zeta澤塔
簡(jiǎn)介：用于PCB/FPC自動(dòng)計(jì)量解決方案
Zeta光學(xué)輪廓儀Zeta-600簡(jiǎn)介
zeta-600光學(xué)輪廓儀是一種全自動(dòng)非接觸、快速三維測(cè)量系統(tǒng)量身打造的PCB和FPC的需求。它可以處理高達(dá)610×510mm樣品的各種應(yīng)用，如孔、粗糙度、導(dǎo)線高度、V-CUT以及膜厚。基于專有的zdot™的zeta-600圖像分析技術(shù)，對(duì)各類樣品的表面特征：光滑到粗糙，低反射率，反射率高，透明到不透明。
zeta-600簡(jiǎn)單操作
zeta3d軟件具有簡(jiǎn)單和直觀的用戶界面，數(shù)據(jù)采集和分析。工程師和運(yùn)營(yíng)商的一個(gè)簡(jiǎn)短的學(xué)習(xí)曲線，以更好的生產(chǎn)力。
zeta-600全自動(dòng)和快速
全集成，全自動(dòng)化，一鍵式計(jì)量解決方案。高分辨率的三維光學(xué)輪廓儀小于36秒，每測(cè)量。通孔、粗糙度、導(dǎo)線高度、V-CUT及膜厚不卸載樣品和移動(dòng)到一個(gè)新的工具的需要量
610mmx510mm樣品的zeta-600最多可以處理610mmx510mm樣品。它非常適合PCB/FPC計(jì)量需求。
Zeta光學(xué)輪廓儀Zeta-600技術(shù)規(guī)格
1 1 / 3“0.5X耦合攝像鏡頭
2 2 / 3“0.35X耦合攝像鏡頭
3靜態(tài)重復(fù)性基于VLSI 0.94μm臺(tái)階高度標(biāo)準(zhǔn)，100X / 0.9n
目的，壓階段，與標(biāo)準(zhǔn)zdot成像模式
技術(shù)規(guī)格：zeta-600
尺寸（mm） 系統(tǒng)（寬）：1003 x 1003 x 1667
重量：500磅（278kg）
zeta-600操作規(guī)范
電壓：100 - 230伏
電流：4A
操作溫度：18-30°C，非冷凝，±°C每小時(shí)1
Zeta-600系統(tǒng)的特點(diǎn)
相機(jī)選項(xiàng)：1024x768 1280x960，1920x1440
放大倍數(shù)：25000x結(jié)合光學(xué)與數(shù)字
照明：兩（2）超亮白光LED
機(jī)動(dòng)化階段：610×510mm XY旅游
Z軸行程：40mm
隔振：內(nèi)置
真空（可選）：600毫米汞柱
Zeta-600性能規(guī)格
計(jì)量：＜36秒/網(wǎng)站（zdot™）
電影：每個(gè)網(wǎng)站~ 3秒（ZFT）
像素分辨率：0.09μ
民z-step：2 nm與壓電階段13納米標(biāo)準(zhǔn)Z驅(qū)動(dòng)
z軸分辨率：1?zsi選項(xiàng)
13納米標(biāo)準(zhǔn)zdot
±Z精度：0.5%
repeatability1：±30 nm（1σ）
