納米壓電旋轉(zhuǎn)位移臺RF-33A,通過壓電陶瓷驅(qū)動(dòng),具有定位精準(zhǔn),位置保持性好,自帶鎖緊,能360°無限旋轉(zhuǎn)等優(yōu)點(diǎn)。在增強(qiáng)位置反饋模塊后,可實(shí)現(xiàn)高精度及高分辨率的開環(huán)/閉環(huán)控制,適用于大氣及真空環(huán)境下工作。
• 應(yīng)用案例
△ 電子顯微鏡原位納米探針臺
△ 半導(dǎo)體芯片檢測
△ 光刻機(jī)工件臺
△ 微生物操縱手
△ 光纖焊接
△ 超精密組裝
△ 精密檢測與測量
△ 高精度激光對焦