衡鵬企業(yè)成立于1999年11月，總部設(shè)于上海，系專業(yè)化、集成化的電子行業(yè)綜合服務(wù)性企業(yè)。公司依托于電子產(chǎn)品制造業(yè)的發(fā)展，已在市場中建立起良好的商譽(yù)和廣泛的商業(yè)資源。近年來，隨著市場的日漸成熟和業(yè)務(wù)的不斷發(fā)展，公司的業(yè)務(wù)已經(jīng)遍布中國大陸以及香港、中國臺灣市場，深得廣大電子產(chǎn)品制造商的青睞。本公司將在緊緊跟隨信息時代的步伐，不斷為客戶提供各種優(yōu)質(zhì)的電子材料及相關(guān)設(shè)備，擴(kuò)大*，壯大自身的同時，充分利用自身優(yōu)勢，不斷提升自身的服務(wù)理念，致力于為客戶提供更多元化、系統(tǒng)化的技術(shù)支持及技術(shù)服務(wù)，進(jìn)一步建立穩(wěn)固的銷售網(wǎng)絡(luò)，從而將公司發(fā)展成為中國*電子行業(yè)中的企業(yè)。
PLASMA等離子體去膠機(jī)概要： |
該設(shè)備是適用于硅基半導(dǎo)體及化合物半導(dǎo)體前后道的等離子體去膠設(shè)備，可用于光刻膠灰化/殘膠去除和表面處理，該系列有兩種配置分別兼容4“/6”/8“或8“/12“晶圓。設(shè)計緊湊占地面積小，設(shè)備穩(wěn)定可靠、易于維護(hù)、產(chǎn)能高。
PLASMA等離子體去膠機(jī)特點(diǎn)： |
兼容晶圓尺寸為：4 ” /6 ” /8”或8 ” /12 ” |
支持2 個開放式晶圓匣或SMIF |
高精度3 軸機(jī)械手 |
2種可選等離子體源： ? RPS (400KHz Toroidal遠(yuǎn)程等離子體源 ) ? 電感耦合等離子體源 (13.56MHz) |
高密度等離子體，去膠速率快 |
優(yōu)異的均勻性和重復(fù)性 |
占地面積小 |
耗材成本（COC）和使用成本（COO)低 |
人性化的人機(jī)交互操作系統(tǒng) |
工業(yè)計算機(jī)Windows |
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