用途：
HD-910Q用于研磨開粗，也可以用于鏡面拋光。能提高工件表面的平面度、粗糙度（光潔度）、平行度。
1.產(chǎn)品加工效果
工件直徑（對角線） | 平面度（單面） | 平行度（單面） | 粗糙度（單面） |
1mm | 0.001mm | 0.002mm | Ra1.6-0.02μm |
50mm | 0.003mm | 0.005mm | Ra1.6- 0.02μm |
150mm | 0.005mm | 0.01mm | Ra1.6- 0.02μm |
以上為室內(nèi)加工試驗(yàn)結(jié)果，受加工材料及經(jīng)驗(yàn)因素影響。
2.適用范圍
適合加工?≤350mm的工件，厚度在1-100mm
金、鎂鋁合金、硅片、光學(xué)玻璃、陶瓷片以及其它超硬材料。
3.加工原理
加工原理：化學(xué)機(jī)械拋光(CMP)。工件在壓力和化學(xué)研磨液的條件下，設(shè)備使工件與研磨盤做相反方向轉(zhuǎn)動產(chǎn)生的磨擦來加工。
HD-910Q平面拋光機(jī)特點(diǎn)介紹
1.機(jī)械硬件部分
機(jī)架：（HT-250）鑄造機(jī)身，一次成型，經(jīng)時效處理，穩(wěn)定性更強(qiáng)；設(shè)備質(zhì)量所引起的慣性與電機(jī)功率匹配，即使研磨盤高速運(yùn)行時，機(jī)器振動也很小。
電機(jī)：采用中國臺灣TECO電機(jī)，耐熱溫度高，使用壽命長，斜齒輪傳動平穩(wěn)。
主軸：采用哈爾濱（HRB）圓錐滾子軸承，有較強(qiáng)的耐腐蝕性，承受負(fù)荷能力強(qiáng)，在高速運(yùn)轉(zhuǎn)下也能有保持高精度。
氣缸：能夠?qū)ぜ?shí)現(xiàn)無極調(diào)壓；觸摸屏上調(diào)節(jié)就能夠得到適合的加工壓力。
工作臺：工作臺面采用304不銹鋼,防漏水、不怕研磨液的腐蝕。
電氣：PLC等電氣部件均采用施耐德品牌。
2.軟件部分
系 統(tǒng)：自研。
人機(jī)界面：操作便利，數(shù)據(jù)直觀，互動引導(dǎo)。
HD-910Q平面拋光機(jī)參數(shù)
設(shè)備部件名稱 | 技術(shù)參數(shù) | 備注 |
研磨盤規(guī)格（mm） | Φ910*240*14T | 直徑*內(nèi)孔*厚度 |
加工尺寸max | Φ350 | 工件對角線長度 |
研磨盤轉(zhuǎn)速 | 0-96rpm | 可無極調(diào)速 |
研磨盤平面度 | 0.02mm | / |
研磨盤端面跳動公差 | 0.02mm | / |
加工位 | 3組 | / |
主電機(jī)功率 | 7.5KW | 380V三項(xiàng) |
氣缸壓力max | 60KW | 三個氣缸 |
設(shè)備外形尺寸（mm） | 1615*1425*2180 | 長*寬*高 |
設(shè)備顏色 | RAL5007/RAL9010 | 默認(rèn)RAL5007 |
設(shè)備總量 | 1900KG | 凈重 |
