日本horiba非接觸式化學(xué)藥液濃度計 CS-900
為達(dá)到半導(dǎo)體濕法制程中所需的嚴(yán)格化學(xué)藥液濃度控制,HORIBA 通過設(shè)計緊湊設(shè)備,以及通過其原有傳感器設(shè)計保持穩(wěn)定測量和確保操作人員安全,實現(xiàn)更強(qiáng)大功能以滿足需求。
概要:
1.全部無接觸,高度穩(wěn)定
從外部將傳感器直接連接到 PFA 管路,實現(xiàn)零的污染。這消除了在安裝傳感器時進(jìn)行管路施工的要求,從而減少化學(xué)事故。此外,通過升級光學(xué)系統(tǒng),設(shè)備變得更加緊湊,同時保留 CS-600F*1 的原始規(guī)格。
2.高質(zhì)量、穩(wěn)定測量
零的污染
配備溫度補(bǔ)償功能,實現(xiàn)穩(wěn)定測量
配備 HORIBA 原始算法,補(bǔ)償氣泡影響
重復(fù)性和穩(wěn)定性與常規(guī)的 CS-600*1 相同
3.抑制振動效應(yīng)
HORIBA 采用抗錯位強(qiáng)的光學(xué)系統(tǒng)結(jié)構(gòu),與 HORIBA 的原始管路結(jié)構(gòu)協(xié)同配合。
日本horiba非接觸式化學(xué)藥液濃度計 CS-900
為達(dá)到半導(dǎo)體濕法制程中所需的嚴(yán)格化學(xué)藥液濃度控制,HORIBA 通過設(shè)計緊湊設(shè)備,以及通過其原有傳感器設(shè)計保持穩(wěn)定測量和確保操作人員安全,實現(xiàn)更強(qiáng)大功能以滿足需求。
概要:
1.全部無接觸,高度穩(wěn)定
從外部將傳感器直接連接到 PFA 管路,實現(xiàn)零的污染。這消除了在安裝傳感器時進(jìn)行管路施工的要求,從而減少化學(xué)事故。此外,通過升級光學(xué)系統(tǒng),設(shè)備變得更加緊湊,同時保留 CS-600F*1 的原始規(guī)格。
2.高質(zhì)量、穩(wěn)定測量
零的污染
配備溫度補(bǔ)償功能,實現(xiàn)穩(wěn)定測量
配備 HORIBA 原始算法,補(bǔ)償氣泡影響
重復(fù)性和穩(wěn)定性與常規(guī)的 CS-600*1 相同
3.抑制振動效應(yīng)
HORIBA 采用抗錯位強(qiáng)的光學(xué)系統(tǒng)結(jié)構(gòu),與 HORIBA 的原始管路結(jié)構(gòu)協(xié)同配合。