日本yako-sangyo 半導(dǎo)體氣體擴(kuò)散器SUS316L
氣體擴(kuò)散器是主要防止負(fù)載鎖定室向大氣開(kāi)放時(shí)晶圓等受到污染、縮短排氣循環(huán)時(shí)間、提高系統(tǒng)吞吐量的擴(kuò)散器。
?元件部分SUS316L
?也可用于高溫應(yīng)用。
?尺寸緊湊,可靠性高,可承受沖擊和振動(dòng)。
氣體擴(kuò)散器概述
1.流量范圍廣,從 6 到 300 SLPM。
2.與高純度半導(dǎo)體氣體兼容。
3.3 納米顆粒過(guò)濾功能可保持高流動(dòng)效率,同時(shí)最大限度地減少壓降。
4.5Ra 電解拋光表面可防止內(nèi)部污染。
5.為了滿足半導(dǎo)體工藝標(biāo)準(zhǔn),我們?cè)谟萌ルx子水清洗后用高溫氮?dú)膺M(jìn)行烘烤。
日本yako-sangyo 半導(dǎo)體氣體擴(kuò)散器SUS316L
氣體擴(kuò)散器是主要防止負(fù)載鎖定室向大氣開(kāi)放時(shí)晶圓等受到污染、縮短排氣循環(huán)時(shí)間、提高系統(tǒng)吞吐量的擴(kuò)散器。
?元件部分SUS316L
?也可用于高溫應(yīng)用。
?尺寸緊湊,可靠性高,可承受沖擊和振動(dòng)。
氣體擴(kuò)散器概述
1.流量范圍廣,從 6 到 300 SLPM。
2.與高純度半導(dǎo)體氣體兼容。
3.3 納米顆粒過(guò)濾功能可保持高流動(dòng)效率,同時(shí)最大限度地減少壓降。
4.5Ra 電解拋光表面可防止內(nèi)部污染。
5.為了滿足半導(dǎo)體工藝標(biāo)準(zhǔn),我們?cè)谟萌ルx子水清洗后用高溫氮?dú)膺M(jìn)行烘烤。