美國(guó)wkfluidhandling 離心泵PCA300
概述:PCA300 泵采用磁懸浮葉輪,其旋轉(zhuǎn)獨(dú)立于穩(wěn)定功能。該泵提供連續(xù)、穩(wěn)定的流量,無(wú)壓力脈動(dòng)。其工藝安全的 PTFE/PFA 流道非常適合超純濕法工藝應(yīng)用。它們通過(guò)電子調(diào)節(jié)葉輪速度進(jìn)行精確控制。
特點(diǎn)和優(yōu)勢(shì):
1.磁懸浮驅(qū)動(dòng)葉輪
2.電機(jī)獨(dú)立于穩(wěn)定功能旋轉(zhuǎn)葉輪
3.適用于高純度化學(xué)品和 DIW 的工藝安全 PTFE、PFA 流道
4.無(wú)泄漏榫槽密封
5.低顆粒生成和低剪切力可提高工藝產(chǎn)量并延長(zhǎng) CMP 再循環(huán)中的過(guò)濾器壽命
6.無(wú)閥門、軸承、旋轉(zhuǎn)密封件或機(jī)械接觸部件
7.減少磨損可增加正常運(yùn)行時(shí)間并最的大程度降低維護(hù)成本
美國(guó)wkfluidhandling 離心泵PCA300
概述:PCA300 泵采用磁懸浮葉輪,其旋轉(zhuǎn)獨(dú)立于穩(wěn)定功能。該泵提供連續(xù)、穩(wěn)定的流量,無(wú)壓力脈動(dòng)。其工藝安全的 PTFE/PFA 流道非常適合超純濕法工藝應(yīng)用。它們通過(guò)電子調(diào)節(jié)葉輪速度進(jìn)行精確控制。
特點(diǎn)和優(yōu)勢(shì):
1.磁懸浮驅(qū)動(dòng)葉輪
2.電機(jī)獨(dú)立于穩(wěn)定功能旋轉(zhuǎn)葉輪
3.適用于高純度化學(xué)品和 DIW 的工藝安全 PTFE、PFA 流道
4.無(wú)泄漏榫槽密封
5.低顆粒生成和低剪切力可提高工藝產(chǎn)量并延長(zhǎng) CMP 再循環(huán)中的過(guò)濾器壽命
6.無(wú)閥門、軸承、旋轉(zhuǎn)密封件或機(jī)械接觸部件
7.減少磨損可增加正常運(yùn)行時(shí)間并最的大程度降低維護(hù)成本