產(chǎn)品信息:
探針臺(tái)主要應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)、光電行業(yè)、集成電路以及封裝的測(cè)試。 廣泛應(yīng)用于復(fù)雜、高速器件的精密電氣測(cè)量的研發(fā),旨在確保質(zhì)量及可靠性,并縮減研發(fā)時(shí)間和器件制造工藝的成本。
創(chuàng)譜儀器研發(fā)的高性價(jià)比手動(dòng)探針臺(tái),廣泛應(yīng)用于集成電路、三極管、二極管及光電探測(cè)器的IV/CV參數(shù)等性能測(cè)試與表征,是光電科研中的基本設(shè)備。
WZH系列高溫探針臺(tái)系統(tǒng)包含:光學(xué)成像部分,整體升降底座,高精度探針座,溫控系統(tǒng),真空吸附系統(tǒng)等;可應(yīng)用于高溫環(huán)境下被測(cè)樣品的電學(xué)性能測(cè)試分析,如:半導(dǎo)體/微電子,電子,機(jī)電,物理,化學(xué),材料,光電,納米,微機(jī)電/MEMS,生物芯片,航空航天等科學(xué)研究領(lǐng)域,以及IC設(shè)計(jì)/制造/測(cè)試/封裝、LED、LCD/OLED、LD/PD、PCB、FPC等生產(chǎn)制造領(lǐng)域。是一款功能強(qiáng)大的高性能探針臺(tái)。
產(chǎn)品特點(diǎn):
★可測(cè)試Wafer尺寸:2英寸-4英寸(還可以升級(jí)更大尺寸)
★探針座和樣品整體位移,非常方便客戶對(duì)樣品進(jìn)行同步光電測(cè)試
★漏電流精度:100fA,可達(dá)10fA
★精密絲杠/燕尾傳動(dòng)結(jié)構(gòu),線性移動(dòng),精密位移,無(wú)回程差設(shè)計(jì)
★應(yīng)用于高等院校/研究所/公司實(shí)驗(yàn)室使用
★1微米以上電極/PAD使用
★模塊化設(shè)計(jì),可以根據(jù)應(yīng)用增加和去除相應(yīng)模塊
★采用進(jìn)口溫控系統(tǒng),優(yōu)異的溫度穩(wěn)定性和控溫均勻性
產(chǎn)品應(yīng)用:
◆LD/LED/PD的光強(qiáng)/波長(zhǎng)測(cè)試(集成我司光電儀器)
◆材料/器件的IV/CV等特性分析測(cè)試
◆晶圓分析測(cè)試
技術(shù)參數(shù)選型:
規(guī)格/參數(shù) | ||||
型號(hào) | WZH-4 | |||
外形尺寸(LWH) | 600mm×600mm×450mm | |||
電力需求 | 220VC,50-60HZ | |||
樣品臺(tái) | 尺寸 | 4寸(圓形/方形)可以定制更大樣品臺(tái) | ||
行程 | XY軸行程50mm;Z軸行程60mm(可以增加旋轉(zhuǎn)功能) | |||
移動(dòng)精度 | XY軸整體1μm;Z軸10μm | |||
背電極測(cè)試功能 | 可以引出電極 | |||
真空吸附 | 搭配進(jìn)口無(wú)油真空泵,7L/min | |||
定制模塊 | 可定制位移行程和精度 | |||
溫控系統(tǒng) | 溫控范圍 | 常溫-300℃(常溫-27K) | ||
控溫精度 | ±0.1℃ | |||
控溫穩(wěn)定性 | ±1℃ | |||
控溫均勻性 | ±3℃ | |||
探針調(diào)整座 | XYZ行程 | 13mm-13mm-13mm | ||
機(jī)械精度 | 1μm | |||
漏電精度 | 100fA/10fA | |||
安裝方式 | 可調(diào)磁力吸附/真空吸附 | |||
接口形式 | 三同軸(Triax) | |||
光學(xué)成像 | 放大倍數(shù) | 7-200倍(可升級(jí)到720倍) | ||
CCD像素 | 2000W | |||
中心距離 | 140mm,升降范圍270mm,總高度350mm | |||
顯示器 | 12寸顯示器,將3-17mm的樣品放大到整個(gè)屏幕(可升級(jí)大尺寸顯微鏡) | |||
可選附件 | 鍍金卡盤 | 積分球測(cè)試選件 | 屏蔽箱 | |
隔振支架 | 導(dǎo)入光源支架 | 波長(zhǎng)單色可調(diào)光纖光源(測(cè)光電流) | ||
顯微鏡調(diào)節(jié)手動(dòng)/電動(dòng)調(diào)節(jié)裝置 | 激光切割顯微鏡 | 轉(zhuǎn)接頭配件 | ||
創(chuàng)譜儀器可以根據(jù)客戶應(yīng)用搭建探針臺(tái),以達(dá)到更好的使用效果和性價(jià)比 |