◆主體材質(zhì)采用不銹鋼材質(zhì),表面精磨,剛性好,耐腐蝕
◆位移部分采用進(jìn)口交叉滾柱導(dǎo)軌,超高精度
◆整體驅(qū)動采用精密測微頭,定量讀數(shù),精確控制
◆整體線性位移,超高穩(wěn)定性
◆匹配多功能調(diào)節(jié)探針夾具,旋鈕調(diào)節(jié)固定,大大方便了客戶調(diào)節(jié)探針
◆底部可調(diào)磁性底座,可以通過旋鈕調(diào)節(jié)磁力的有無,磁性吸附5Kg,保證了整個系統(tǒng)的穩(wěn)定性
◆可以配合高頻探針組合RF系列高頻探針座
產(chǎn)品應(yīng)用:
◆特別適用于微米級別大小的樣品電極
◆適用于R/F量測、I/O點量測、直流DC測試 、晶圓測試、電阻電壓測試、太陽能電池測試、光電流測試、半導(dǎo)體器件分析測試等
技術(shù)參數(shù):
◆探針位移行程:XYZ三維分別13mm+180°左右旋轉(zhuǎn)+60°上下傾斜
◆整體結(jié)構(gòu)外形尺寸:290mm×110mm×120mm(LWH)
◆探針整體位移精度:1μm
◆漏電精度:同軸線纜(10pA)
進(jìn)口三同軸線纜(100fA)
◆可選接頭:同軸線纜可選擇BNC、鱷魚夾、香蕉插頭
進(jìn)口三同軸線纜只能選擇三同軸接口(Triaxial)
◆測量范圍:電流:10pA/100fA-10A
電壓:1000V