光電真空系統(tǒng)-阿螺桿真空機組:真空領域和減排系統(tǒng)
Atlas螺桿真空機組應用領域:
分析儀器、化工、食品加工、發(fā)電解決方案、半導體、平板顯示、可再生能源(太陽能、LED照明、儲能等)、石材、印刷包裝、家具木材等行業(yè)。
半導體真空泵應用:
晶圓制造過程中的單晶拉晶、LoadLock、刻蝕、CVD、ALD、封裝、測試等清潔或嚴苛制程。
真空泵于半導體設備意義重大:
若半導體器件不同材料層之間混入氣體分子,會破壞器件的電學或光學性能,而真空系統(tǒng)可對芯片的性能和良率起決定性作用。
Atlas螺桿真空機擁有VSD和設定點控制功能,而常規(guī)的真空泵是不具備這樣的功能的,可根據(jù)實際所需真空水平或速度,提供需求的真空氣量,避免造成浪費,Atlas螺桿真空泵是真空領域的節(jié)能減排真空系統(tǒng),節(jié)能可達50%,深受用戶好評。