日本fuji 單組分濃度計FUD-1Model-130

1.單組分濃度計特點

Model-130是強(qiáng)調(diào)測量濃度穩(wěn)定性的概念模型，。在半導(dǎo)體制造工藝等需要高精度和高穩(wěn)定性濃度計的情況下非常有效。

2.優(yōu)點

-可進(jìn)行高精度連續(xù)測量

-免維護(hù)，無需定期調(diào)整或校準(zhǔn)

-安裝方便，安裝過程中無需進(jìn)行各種調(diào)整

-實時輸出可以輕松向流程提供反饋

3.目的

-CMP工藝中的CMP漿料或氧化劑濃度管理等

-稀釋過程中各種化學(xué)品濃度控制（H2O2、TMAH、HNO3、H2SO4、HCl等）

-清洗過程中清洗液濃度管理（HF、NH4OH、KOH、IPA等）

-蝕刻過程中蝕刻液濃度控制（HF、H2SO4等）

日本fuji 單組分濃度計FUD-1Model-130

1.單組分濃度計特點

Model-130是強(qiáng)調(diào)測量濃度穩(wěn)定性的概念模型，。在半導(dǎo)體制造工藝等需要高精度和高穩(wěn)定性濃度計的情況下非常有效。

2.優(yōu)點

-可進(jìn)行高精度連續(xù)測量

-免維護(hù)，無需定期調(diào)整或校準(zhǔn)

-安裝方便，安裝過程中無需進(jìn)行各種調(diào)整

-實時輸出可以輕松向流程提供反饋

3.目的

-CMP工藝中的CMP漿料或氧化劑濃度管理等

-稀釋過程中各種化學(xué)品濃度控制（H2O2、TMAH、HNO3、H2SO4、HCl等）

-清洗過程中清洗液濃度管理（HF、NH4OH、KOH、IPA等）

-蝕刻過程中蝕刻液濃度控制（HF、H2SO4等）