產(chǎn)品功能：

◆采用一套多臂氣動機械手傳動，定位精準，效率高。

◆人機界面，PLC程序控制，觸摸屏操作。

◆水系型清洗劑、DI水、IPA清洗干燥。

◆間接式導熱油加熱方式，全自動IPA檢測、滅火裝置。

◆機架及全封閉外罩HEPA高效空氣過濾器，防止二次污染。

◆采用多種清洗頻率清洗設(shè)備：40KHz、80KHz、100KHz、120KHz。