德國polytec 顯微式激光測振儀MSA-600
測量MEMS系統(tǒng)的3D動(dòng)態(tài)特性及形貌特性
表面形貌、動(dòng)態(tài)特性分析及可視化是顯微結(jié)構(gòu)（如MEMS器件）測試和開發(fā)的關(guān)鍵。這對于驗(yàn)證有限元算法、確定串?dāng)_影響和測量表面形變等都至關(guān)重要。
MSA-600-M/V型的測量帶寬高達(dá)25MHz，適用于MEMS、MEMS麥克風(fēng)和其它微系統(tǒng)的振動(dòng)測試。
全新研發(fā)的MSA-600-X/U型的測量帶寬更是高達(dá)2.5GHz，尤其適用于高頻MEMS諧振器、微聲器件如SAW、BAW等振動(dòng)測試。
基于MEMS系統(tǒng)的MSA-600顯微式激光測振儀，集多種測量功能于一體，其不僅能測量面內(nèi)振動(dòng)和面外振動(dòng)，還能測量表面形貌。系統(tǒng)具有極的高的靈活性和精度，以滿足顯微結(jié)構(gòu)未來的發(fā)展需要。顯微式激光測振儀可提供精確的三維動(dòng)態(tài)和靜態(tài)響應(yīng)數(shù)據(jù)，在降低開發(fā)和制造成本的同時(shí)提高產(chǎn)品性能，從而縮短設(shè)計(jì)周期，簡化故障處理，提高產(chǎn)品產(chǎn)量。
高性能激光多普勒測振儀能快速進(jìn)行實(shí)時(shí)測量，位移分辨率達(dá)亞pm級(jí)。白光干涉儀可以在幾秒鐘內(nèi)提供數(shù)以百萬計(jì)的三維表面形貌數(shù)據(jù)。MSA-600的用戶界面直觀，操作簡便，是一款用于研究、開發(fā)和質(zhì)量控制的功能強(qiáng)大的光學(xué)測量系統(tǒng)。系統(tǒng)易于集成至常見的商用探針臺(tái)上，從MEMS原型設(shè)計(jì)到測試和故障排除，其能在各個(gè)開發(fā)階段給您提供幫助，從而降低生產(chǎn)成本并縮短產(chǎn)品上市時(shí)間。
德國polytec 顯微式激光測振儀MSA-600
測量MEMS系統(tǒng)的3D動(dòng)態(tài)特性及形貌特性
表面形貌、動(dòng)態(tài)特性分析及可視化是顯微結(jié)構(gòu)（如MEMS器件）測試和開發(fā)的關(guān)鍵。這對于驗(yàn)證有限元算法、確定串?dāng)_影響和測量表面形變等都至關(guān)重要。
MSA-600-M/V型的測量帶寬高達(dá)25MHz，適用于MEMS、MEMS麥克風(fēng)和其它微系統(tǒng)的振動(dòng)測試。
全新研發(fā)的MSA-600-X/U型的測量帶寬更是高達(dá)2.5GHz，尤其適用于高頻MEMS諧振器、微聲器件如SAW、BAW等振動(dòng)測試。
基于MEMS系統(tǒng)的MSA-600顯微式激光測振儀，集多種測量功能于一體，其不僅能測量面內(nèi)振動(dòng)和面外振動(dòng)，還能測量表面形貌。系統(tǒng)具有極的高的靈活性和精度，以滿足顯微結(jié)構(gòu)未來的發(fā)展需要。顯微式激光測振儀可提供精確的三維動(dòng)態(tài)和靜態(tài)響應(yīng)數(shù)據(jù)，在降低開發(fā)和制造成本的同時(shí)提高產(chǎn)品性能，從而縮短設(shè)計(jì)周期，簡化故障處理，提高產(chǎn)品產(chǎn)量。
高性能激光多普勒測振儀能快速進(jìn)行實(shí)時(shí)測量，位移分辨率達(dá)亞pm級(jí)。白光干涉儀可以在幾秒鐘內(nèi)提供數(shù)以百萬計(jì)的三維表面形貌數(shù)據(jù)。MSA-600的用戶界面直觀，操作簡便，是一款用于研究、開發(fā)和質(zhì)量控制的功能強(qiáng)大的光學(xué)測量系統(tǒng)。系統(tǒng)易于集成至常見的商用探針臺(tái)上，從MEMS原型設(shè)計(jì)到測試和故障排除，其能在各個(gè)開發(fā)階段給您提供幫助，從而降低生產(chǎn)成本并縮短產(chǎn)品上市時(shí)間。
