普發(fā)氦質(zhì)譜檢漏儀
高性能移動(dòng)型檢漏儀——ASM 390
高性能 – 移動(dòng)式 ASM 390、ASM 392
對(duì)大型測試對(duì)象進(jìn)行快速抽氣和短響應(yīng)時(shí)間
ASM 390 和 ASM 392氦質(zhì)譜檢漏儀 是理想的泄漏檢測解決方案,適用于半導(dǎo)體和顯示器行業(yè)以及其他以快速抽氣和高靈敏度為關(guān)鍵的苛刻應(yīng)用。兩個(gè)裝置均符合 Semi S2 標(biāo)準(zhǔn)。
這些檢漏儀配備了干式無摩擦前級(jí)泵和強(qiáng)大的高真空泵,使其成為在清潔環(huán)境中對(duì)各種組件進(jìn)行泄漏測試的理想工具。 ASM 392 配備額外的渦輪分子泵,將加快泄漏檢測過程,減少生產(chǎn)設(shè)備的停機(jī)時(shí)間。
干式氦檢和移動(dòng)性
ASM 390 和 ASM 392 可用于半導(dǎo)體和顯示器產(chǎn)業(yè)以及其他要求嚴(yán)格的應(yīng)用,這些應(yīng)用需要快速的抽空時(shí)間和高靈敏度。兩種型號(hào)都符合 Semi S2 標(biāo)準(zhǔn)。
這些氦質(zhì)譜檢漏儀都裝備干式非接觸前級(jí)泵和強(qiáng)大的高真空渦輪分子泵,從而使其成為清潔環(huán)境下各種組件泄漏測試的理想工具。ASM 392裝有一臺(tái)額外的渦輪分子泵,可以加速泄漏檢測流程,降低生產(chǎn)設(shè)
備的停機(jī)時(shí)間。
耐用、精確、可靠
ASM 390 和 ASM 392 的開發(fā)是基于實(shí)現(xiàn)任何等級(jí)的操作人員都能上手的設(shè)備。他們都可以在最短的時(shí)間里提供良好性能和結(jié)果,從而在現(xiàn)場提高效率。
符合人機(jī)工學(xué)且操縱靈敏
ASM 390 和 ASM 392 具有同樣的平臺(tái),人機(jī)工學(xué)設(shè)計(jì),尺寸和高度合適,前部有一輔助手柄,顯示器可自由旋轉(zhuǎn)、可拆卸,前部入口易于連接測試端口,可操作性強(qiáng),可用于各種測試場地,即使狹小的空間也應(yīng)對(duì)自如。
精巧智能且用戶友好
通過色彩清晰的寬屏觸摸屏、帶模塊化隔倉和真空波紋管存儲(chǔ)的集成工具箱,在使用地點(diǎn)所有需要的附件無不齊備,您會(huì)感嘆泄漏檢測多么輕松。
產(chǎn)品優(yōu)勢
高機(jī)動(dòng)性和緊湊的設(shè)計(jì)
好的泄漏測試性能
大型可旋轉(zhuǎn)彩色觸摸屏
高粗加工能力 (35 m3/h),可實(shí)現(xiàn)快速疏散
干燥清潔泵送技術(shù)
維護(hù)要求低
工作表面符合人體工學(xué)設(shè)計(jì)
污染情況下快速恢復(fù)
直觀的菜單,方便操作
用于存放配件的集成工具箱
快速啟動(dòng)
高靈敏度和準(zhǔn)確的測量
符合半 S2 標(biāo)準(zhǔn)
應(yīng)用領(lǐng)域
半導(dǎo)體 鍍膜 太陽能 粒子加速 真空管件(貫通器材、閥門、波紋管、伸縮接頭)鐳射技術(shù) 超純物質(zhì) 電子元器件 航天 醫(yī)藥
ASM390尺寸圖: