CS200(A)數(shù)字式氣體質量流量控制器(MASS FLOW CONTROLLER)
技術參數(shù):
型號 | CS200(A) |
流量規(guī)格(N2) | ( 0~5,10,20,30,50,100,200,300,500)SCCM (0~1,2,3,5,10,20,30,50)SLM |
準確度 | ±1.0% S.P. (≥35% F.S.) ±0.35% F.S.(<35% F.S.) |
線性 | ±0.5% F.S. |
重復精度 | ±0.2% F.S. |
響應時間 | ≤ 1sec |
閥類型 | Normally Closed or Normally Open |
工作壓差范圍 | (0.05~0.35) Mpa(≤10slm) (0.1~0.35) Mpa(20slm,30 slm) (0.2~0.45) Mpa(50 slm) <0.02MPa |
溫度系數(shù) | Zero: ≤±0.05% F.S./℃;Span: ≤±0.1% F.S.℃ |
zui大工作壓力 | 3MPa |
零漂 | <0.6%F.S. per year without autozero |
漏率 | 1×10-9 atm•cc / sec He(1×10-10 Pa•m3 / sec He) |
密封材料 | Viton;Neoprene |
表面粗糙度 | 25Ra |
工作環(huán)境溫度 | (5~45)℃ |
輸入信號 | Digital: RS485 DeviceNetTM Analog:(0~5)VDC or (4~20)mA |
輸出信號 | Digital: RS485 DeviceNetTM Analog:(0~5)VDC and (4~20)mA |
電源 | ±11 ~ ±16 VDC or +11 ~ +28 VDC(400mA) |
電氣連接 | D sub 9 pins male,D sub 15 pins male |
標準接頭形式 | VCR1/4” M;SwagelokΦ3;SwagelokΦ6; SwagelokΦ10; Swagelok1/4”;W-seal;C-seal |
重量 | 1kg |