在很多超純氣應用,諸如半導體工業(yè)中,氣體中殘余的濕氣對于過程處理的正常運作至關重要。一直以來,對濕氣的持續(xù)追蹤測量都是個難點,需要用到復雜的濕度分析儀或者昂貴的分析技術。然而密析爾儀表目前則向市場推出了簡單的、經(jīng)濟的、相當有效的方案,用來在線測量露點值,下限低至驚人的-120°C (相當于不到 1 ppbV)。 Pura 變送器是基于密析爾儀表多年在阻抗露點傳感器生產(chǎn)和校驗的專業(yè)經(jīng)驗,結合標準工業(yè)化的材料和制造流程,打造出的*適用于半導體制造行業(yè)和超純氣體應用的低價位變送器。 | |
| 測量下限 -120°C 露點 (1 ppbV) 測量穩(wěn)定,重復性好 高度集成的采樣裝置 模擬和數(shù)字輸出 安裝簡便 VCR 過程接口 設計緊湊小巧 顯示/報警單元可選 |
傳感器 | |
傳感器類型 | 密析爾陶瓷濕度傳感器 |
量程 | -120 ~ -40°C 露點 (校驗到 -100 ~ -40°C) |
精度 | ±1°C -40 ~ -60°C; ±2°C -61 ~ -100°C; ±4°C -101 ~ -120°C (估算值) |
分辨率 | 0.1°C -40 ~ -79.9°C; 1°C -80 ~ -100°C; 1 ~ 3°C -100 ~ -120°C |
壓力 | zui低 10-9 torr; zui大 24 MPa |
氣體流量 | 1 ~ 5 Nl/min |
電氣 | |
電源 | 通常 24 V DC, zui低10 V ~ zui高28 V , zui大電流 25 mA |
輸出 | 4-20 mA 輸出, 對應范圍可由軟件調(diào)整, 調(diào)整量程從 1 ~ 80°C (標配提供) zui大負載 = 100 Ω + 50 Ω x (V 電源 -8) |
輸出出錯狀態(tài) | 標準輸出出錯信息如下: 23 mA = 傳感器故障; 20 mA = 超上限; 4 mA = 超下限 |
機械性能 | |
傳感器套筒 | 不銹鋼, 0.1-0.2 Ra µm 電鍍內(nèi)拋光 |
氣路連接端口 | Premium 或 OEM 型: ¼" m VCR 接口 Pura Sensor 型: ½" m VCR 接口 |
安裝配置 | Premium 或 OEM 型: 120.00mm 長, 氣路端口的端面密封. 無需預留管路空隙 底座上有 2 個 M4 x 0.7, 7mm 深的安裝孔, 斜對面橫豎間距均為 20 x 20mm Pura Sensor 型: 適用于用戶提供的 ½" VCR 端口中 |
尺寸 | Premium 或 OEM 型: 120 x 35 x 150mm Pura Sensor 型: 132 x 35mm |
重量 | Premium 或 OEM 型: 450g Pura Sensor 型: 180g |
包裝 | Pura: 雙層包裝, 惰性氣體填充密封 Pura OEM 或 Pura Sensor 型: 單層包裝 所有選配件: 獨立包裝運輸 Sensor 型在傳感芯片端自帶保護套,用以運輸及操作 |
訂貨號 | PUR-TX |
ROTRONIC 瑞士羅卓尼克為您提供全系列的溫濕度測量產(chǎn)品:溫濕度變送器、記錄器、手持表、指示器、探頭、傳感器和濕度發(fā)生器,用于測量和校準相對濕度、溫度、露點、水分活度和各種濕度學參數(shù)。
ROTRONIC 瑞士羅卓尼克的溫濕度產(chǎn)品廣泛應用于暖通(HVAC)、智能管理系統(tǒng)(BMS)、生產(chǎn)和過程控制、氣象、食品安全和制藥等。 ROTRONIC 瑞士羅卓尼克的產(chǎn)品基于*的 HC2 數(shù)字技術,代表了*的濕度學參數(shù)測量技術,以高精度、高穩(wěn)定性著稱于世。
徽科特儀表線的產(chǎn)品全部為自主研發(fā)、生產(chǎn),包括數(shù)顯儀、控制儀、記錄儀、巡檢儀等數(shù)十個產(chǎn)品系列。為了更好地滿足應用需求,提升產(chǎn)品的性價比,加深與客戶的合作層面,公司始終將柔性化設計作為一項重要的工作內(nèi)容,數(shù)年來積累了豐富的研發(fā)和管理經(jīng)驗,在此基礎上形成的非標產(chǎn)品和OEM產(chǎn)品已成為公司重要的差異化競爭優(yōu)勢之一,占到產(chǎn)品銷售量的30%左右。
徽科特露點線的產(chǎn)品主要為在線露點變送器;便攜露點儀;高性能露點變送器;高精度露點變送器;濕度校準裝置等。產(chǎn)品廣范應用到天然氣工業(yè)、半導體處理、發(fā)電廠、氣體壓縮、鋁電行業(yè)、實驗室等眾多領域。
無錫徽科特測控技術有限公司(Wuxi Huikete M&C-Tech Co., Ltd.)專致于瑞士ROTRONIC羅卓尼克產(chǎn)品的銷售和技術服務,我們立足于中國經(jīng)濟較活躍的電子生產(chǎn)基地—無錫市,以較新的技術資訊和服務理念面對需求的用戶,精選Z適合的方案和服務提供給客戶比較、參考。 期望我們提供的相應方案、服務能夠得到您的認可。